1700℃真空CVD系統(tǒng)由高溫管式爐，高真空擴(kuò)散泵/分子泵系統(tǒng)，多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)，自動(dòng)壓強(qiáng)控制系統(tǒng)等組成。可實(shí)現(xiàn)本底真空達(dá)0.001—0.0001Pa混合氣體化學(xué)氣相沉積和擴(kuò)散試驗(yàn)。

主要功能和特點(diǎn)：

1、真空系統(tǒng)可根據(jù)使用要求選擇我司擴(kuò)散泵機(jī)組或分子泵機(jī)組；

2、可配合壓強(qiáng)控制儀控制氣體壓力實(shí)現(xiàn)負(fù)壓的精準(zhǔn)控制；

3、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計(jì)，流量顯示儀等組成，實(shí)現(xiàn)氣體的流量的精密測(cè)量和控制；

4、每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統(tǒng)的安全可靠。

5、采用水冷KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；

6、管路采用世界*Swagelok卡套連接，不漏氣；

7、超溫、過壓時(shí)，自動(dòng)切斷加熱電源及流量計(jì)進(jìn)氣，保證設(shè)備及實(shí)驗(yàn)的安全性。

主要用途：

適用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長(zhǎng)等場(chǎng)所。

主要技術(shù)參數(shù)：

SGL-1700高溫爐

控溫方式

采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能，并可編制50段升降溫程序。

加熱元件

進(jìn)口1700型優(yōu)質(zhì)硅鉬棒

工作電源

AC220V    50Hz/60Hz；額定功率6kw

爐管材質(zhì)

99瓷氧化鋁剛玉管

爐管尺寸

Φ60/80/100*/1000mm

工作溫度

≤1600℃

zui高溫度

1650℃

恒溫精度

±1℃

升溫速度

≤10℃/min

測(cè)溫元件

B型熱電偶

密封方式

不銹鋼水冷KF法蘭擠壓密封

ZK真空系統(tǒng)

ZK-F

ZK-K

真空范圍

0.1-0.001Pa

0.1-0.01Pa

極限真空

5.0*10^-5Pa

5.0*10^-4Pa

產(chǎn)品配置

雙級(jí)旋片真空泵+分子泵

雙級(jí)旋片真空泵+擴(kuò)散泵

冷卻方式

風(fēng)冷

水冷

抽   速

110L/S

100L/S

測(cè)量方式

復(fù)合真空計(jì)

真空規(guī)管

電阻規(guī)+電離規(guī)

ZDC-I壓強(qiáng)控制系統(tǒng)

測(cè)量范圍

1*10^5～1*10^-1 Pa

穩(wěn)壓(真空)范圍

1*10^3～1*10Pa

壓力(穩(wěn)定精度）

±3%

控制范圍

2.5*10^3～5*10^-1 Pa

控制精度

± 1%

HQZ-Ⅲ混氣系統(tǒng)

控制方式

D07-7K質(zhì)量流量計(jì),D08流量顯示儀

流量規(guī)格（可訂制）

0－500SCCM /0－1SLM,

線   性

±1%F.S.

準(zhǔn)確度

±1%F.S.

重復(fù)精度

±0.2%F.S.

響應(yīng)時(shí)間

≤2sec

耐   壓

3MPa

氣路通道

3通道（根據(jù)客戶需求）

針   閥

316不銹鋼

管   道

Φ6mm不銹鋼管

接   口

SwagelokΦ6mm