CVI-1700系統(tǒng)由SGL-1700L真空管式爐，HQZ-Ⅳ混氣系統(tǒng)，真空壓強(qiáng)控制系統(tǒng)，尾氣冷凝收集處理系統(tǒng)等組成。真空泵采進(jìn)口抗腐蝕隔膜真空泵，真空度可達(dá)到7.5x10-1Torr；可實(shí)現(xiàn)多路混合氣體化學(xué)氣相沉積和擴(kuò)散試驗(yàn)。

主要技術(shù)參數(shù)：

SGL-1700L

真空管式爐

雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，有效保證外殼表面溫

日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好

加熱元件采用優(yōu)質(zhì)U型硅鉬棒，表面負(fù)荷高，大大提高了其使用壽命

機(jī)器電源

AC220V，50/60Hz；額定功率6KW

爐管

采用99氧化鋁剛玉管，致密度高，經(jīng)久耐用，不易斷裂

尺寸：Φ80*/1000mm

剛玉支撐架，有效保證料件處于溫區(qū)中心

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速水冷法蘭，長(zhǎng)期水冷無(wú)腐蝕

一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷

可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐

包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合，4個(gè)密封硅膠圈等

加熱系統(tǒng)

加熱元件：4根U型硅鉬棒

加熱區(qū)長(zhǎng)度：280mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度：100mm

工作溫度：≤1600℃

升溫速率：≤10℃/min

溫控系統(tǒng)

溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能

50段升降溫程序

測(cè)溫元件：B型雙鉑銠熱電偶

恒溫精度：±1℃

超溫、斷偶故障警報(bào)及斷電保護(hù)

HQZ-Ⅳ

混氣系統(tǒng)

高精度質(zhì)量流量計(jì)通過(guò)數(shù)據(jù)接口連接電腦，配置軟件實(shí)時(shí)人機(jī)交互界面

四通道質(zhì)量流量控制，可同時(shí)通入四種不同氣體

內(nèi)置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥

每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥

流量規(guī)格：0~30SLM

控制精度：±1.0％F.S

真空系統(tǒng)

采用德國(guó)LABOPORT小型抗腐蝕隔膜真空泵，可用于腐蝕性氣體和蒸汽介質(zhì)

真空度可達(dá)7.5x10-1 Torr

可長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作，無(wú)須擔(dān)心泵因過(guò)熱保護(hù)而中止實(shí)驗(yàn)

可選配真空表，實(shí)現(xiàn)對(duì)真空及壓力的調(diào)節(jié)控制

配置氣體尾氣處理系統(tǒng)

冷凝系統(tǒng)

采用低溫恒溫槽，zui低溫度可達(dá)-20℃

內(nèi)置不銹鋼真空冷凝灌，采用KF接頭，清理收集方便

槽內(nèi)冷液可外引,冷卻機(jī)外實(shí)驗(yàn)容器,也可在槽內(nèi)直接進(jìn)行低溫、恒溫實(shí)驗(yàn)