主要用途和適用范圍：

CVI-1200系統(tǒng)由高溫管式爐，真空壓強(qiáng)控制系統(tǒng)，多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)，過壓保護(hù)及冷凝等部分組成，可實現(xiàn)真空達(dá)0.1mbar混合氣體化學(xué)氣相沉積和擴(kuò)散試驗。

主要技術(shù)參數(shù)：

SGL-1200L真空管式爐

雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，有效保證外殼表面溫

日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好

加熱元件采用高電阻優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2，經(jīng)久耐用，zui高溫度可達(dá)1200℃

機(jī)器電源

AC220V，50/60Hz；額定功率4kw

爐管

高純石英管，高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)極小，能承受驟冷驟熱的溫度變化；

尺寸：Φ80*/1000mm

剛玉支撐架，有效保證料件處于溫區(qū)中心

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速水冷法蘭，長期水冷無腐蝕

一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷

可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐

包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合，4個密封硅膠圈等

加熱系統(tǒng)

加熱元件：0Cr27Al7Mo2

加熱區(qū)長度：300mm

恒溫區(qū)長度：150mm

工作溫度：≤1150℃

升溫速率：≤10℃/min

溫控系統(tǒng)

溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能

30段升降溫程序

測溫元件：N型熱電偶

恒溫精度：±1℃

超溫、斷偶故障警報及斷電保護(hù)

HQZ-Ⅳ

混氣系統(tǒng)

高精度質(zhì)量流量計通過數(shù)據(jù)接口連接電腦，配置軟件實時人機(jī)交互界面

四通道質(zhì)量流量控制，可同時通入四種不同氣體

內(nèi)置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥

每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥

流量規(guī)格：0~30SLM

控制精度：±1.0％F.S

真空系統(tǒng)

采用德國vacuubrand MV2NT VARIO四級隔膜泵，無極調(diào)速，實現(xiàn)負(fù)壓的精準(zhǔn)控制

極限真空度可達(dá)0.1mbar

可長時間連續(xù)工作，無須擔(dān)心泵因過熱保護(hù)而中止實驗

采用電容式陶瓷隔膜真空規(guī)+控制器，操作簡單方便

配置氣體尾氣處理系統(tǒng)

冷凝系統(tǒng)

采用低溫恒溫槽，zui低溫度可達(dá)-20℃

內(nèi)置不銹鋼真空冷凝灌，采用KF接頭，清理收集方便

槽內(nèi)冷液可外引,冷卻機(jī)外實驗容器,也可在槽內(nèi)直接進(jìn)行低溫、恒溫實驗