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          CVD-1200系統(tǒng)

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          • CVD-1200系統(tǒng)
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          • 品牌 上海鉅晶
          • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
          • 所在地 上海市
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          更新時間:2017-04-20 17:15:04瀏覽次數(shù):443

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          產(chǎn)品簡介

          CVD-1200系統(tǒng)由滑動式開啟式真空管式爐,混氣系統(tǒng),真空及壓力系統(tǒng)等組成。此系統(tǒng)燒結(jié)溫度可達(dá)1200℃,通過滑動爐體來實現(xiàn)快速的升降溫;配置不同的真空系統(tǒng)來達(dá)到理想的真空度;同時通過三路高精度質(zhì)量流量計控制不同氣體。

          詳細(xì)介紹

          CVD-1200系統(tǒng)由滑動式開啟式真空管式爐,混氣系統(tǒng),真空及壓力系統(tǒng)等組成。此系統(tǒng)燒結(jié)溫度可達(dá)1200℃,通過滑動爐體來實現(xiàn)快速的升降溫;配置不同的真空系統(tǒng)來達(dá)到理想的真空度;同時通過三路高精度質(zhì)量流量計控制不同氣體。

          技術(shù)參數(shù):

          爐體結(jié)構(gòu)

          雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng),有效保證外殼表面溫;

          日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好

          爐子底部裝有一對滑軌,移動平穩(wěn)

          爐子可以手動從一端滑向另一端,實現(xiàn)快速的加熱和冷卻

          支撐兩端安裝油壓緩沖器

          爐蓋可開啟,可以實時觀察加熱的物料

          電源

          電壓:AC220V 50/60Hz;功率:4KW

          爐管

          高純石英管,高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng),耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極小

          尺寸:Φ40/60/80/100*1200mm

          法蘭及支撐

          SUS304不銹鋼快速法蘭,通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空

          一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷

          可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

          包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合

          加熱系統(tǒng)

          加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2,表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用

          加熱區(qū)長度:440mm

          恒溫區(qū)長度:200mm

          工作溫度:≤1150

          zui高溫度:1200

          升溫速率:10/min

          溫控系統(tǒng)

          溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能30段升降溫程序

          測溫元件:N型熱電偶

          恒溫精度:±1

          混氣系統(tǒng)

          三路質(zhì)量流量計:數(shù)字顯示、氣體流量自動控制

          內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥

          管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套

          每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥

          通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量

          流量規(guī)格:0~1SLM

          流量精度:±1.5%

          真空系統(tǒng)

          采用雙極旋片真空泵,真空度可達(dá)5x10-1 Torr

          數(shù)顯式真空壓力表

          可選高真空系統(tǒng)及真空計,壓力控制系統(tǒng)等

          可選配件

          混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng),各種剛玉、石英坩堝,石英管,計算機(jī)控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀。

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