Savannah 原子層沉積ALD
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 Veeco
- 型號 Savannah
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/9/4 17:40:21
- 訪問次數(shù) 140
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| 價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,電氣 |
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1. 產(chǎn)品概述
Savannah®配備了高速氣動脈沖閥，以實現(xiàn)我們的曝光模式™，用于在超高寬寬比基板上沉積薄膜。這種經(jīng)過驗證的精密薄膜鍍膜方法可用于在縱橫比大于 2000：1 >基板上沉積保形、均勻的薄膜。Savannah® 提供三種配置：S100、S200 和 S300。Savannah® 能夠容納不同尺寸的基材（S300 可達(dá) 300 毫米）。Savannah®薄膜沉積系統(tǒng)配備了加熱的驅(qū)體線，并可選擇添加多達(dá)六條線。Savannah® 能夠處理氣體、液體或固體體。
Veeco 原子層沉積 （ALD） 系統(tǒng)供應(yīng)商，為研究和工業(yè)提供全面的服務(wù)和多功能的交鑰匙系統(tǒng)，這些系統(tǒng)易于訪問、經(jīng)濟(jì)實惠且精確到原子尺度。薄膜沉積是我們的長。我們的 Savannah® 系列薄膜沉積工具就是這些能力的例證。Savannah® 已成為全球從事原子層沉積 （ALD） 的大學(xué)研究人員的選系統(tǒng)，他們正在尋找經(jīng)濟(jì)實惠且強大的平臺。在過去十年中，我們已經(jīng)交付了數(shù)百個這樣的系統(tǒng)。Savannah®對驅(qū)體的高效利用和節(jié)能特性大大降低了薄膜沉積系統(tǒng)的運行成本。
2. 主要功能包括
原位橢圓偏振儀
原位質(zhì)量控制
自組裝單層膜
2循環(huán)時間
綜合臭氧
低蒸氣壓沉積
批處理
手套箱集成
采購中心
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