GEN2000 分子束外延MBE

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品標(biāo)簽

分子束外延 MBE 薄膜沉積

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公司介紹 主營產(chǎn)品

深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng)，軟件著作權(quán) 14 項(xiàng)，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

展開

冷熱臺(tái)，快速退火爐，光刻機(jī)，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述：

GEN2000® MBE 系統(tǒng)提供的吞吐量、更長的活動(dòng)周期、更小的占地面積和集群工具晶圓處理。它是 HBT 和 pHEMT 等無線通信設(shè)備大批量生產(chǎn)以及需要以低擁有成本生產(chǎn) 6 英寸的新興應(yīng)用的理想選擇。

提供業(yè)界低的單片晶圓成本

設(shè)計(jì)使占地面積比同類 MBE 系統(tǒng)小 40% 至 60%

模塊化架構(gòu)允許多兩個(gè)生長模塊，從而提高產(chǎn)量或允許處理不相容的材料

易于維護(hù)，可大限度地延長正常運(yùn)行時(shí)間

可選的隔板安裝優(yōu)化了潔凈室空間

集成了業(yè)界具創(chuàng)新性、可靠的系統(tǒng)硬件、源和組件

GEN2000® MBE 系統(tǒng)提供吞吐量、更長的活動(dòng)周期、更小的占地面積和集群工具晶圓處理。它是 HBT 和 pHEMT 等無線通信設(shè)備大批量生產(chǎn)以及需要以低擁有成本生產(chǎn) 6 英寸的新興應(yīng)用的理想選擇。