1. 產(chǎn)品概述

屢獲殊榮的新型 GENxcel™ 系統(tǒng)是在 GENxplor 的基礎(chǔ)上進行的擴展，GENxplor™ 是自 2013 年 8 月推出以來暢銷的 MBE 系統(tǒng)，與 GENxplor 系統(tǒng)的 3“ 功能相比，在單個 4 英寸襯底上具有高質(zhì)量的外延生長。GENxcel 系統(tǒng)具有易于使用的手動傳輸系統(tǒng)、12 個源端口和集成到單框架設(shè)計中的現(xiàn)代電子設(shè)備，可實現(xiàn)大的實驗室占地面積效率。

在直徑達 4 英寸的襯底上實現(xiàn)高質(zhì)量外延層

單幀架構(gòu)提高了易用性，提供了便捷的源訪問和增強的可服務(wù)性

高效的一體化設(shè)計將手動系統(tǒng)與機載電子設(shè)備相結(jié)合，與其他 MBE 系統(tǒng)相比，可節(jié)省 40% 的實驗室空間

非常適合對各種材料進行沿研究，包括砷化鎵、氮化物和氧化物

Molly® 軟件集成了簡單的配方編寫、自動生長控制和始終在線的數(shù)據(jù)記錄

可選的 Nova™ 超高溫基板加熱器，可在 1850° 下提供經(jīng)過驗證的性能

可直接擴展到 GEN20™、GEN200® 和 GEN2000® MBE 系統(tǒng)