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          產(chǎn)品展廳

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          化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設備>其它薄膜沉積設備>FPPIC-R-200-standard 科研型原子層沉積系統(tǒng),picosun公司ALD系統(tǒng)

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          FPPIC-R-200-standard 科研型原子層沉積系統(tǒng),picosun公司ALD系統(tǒng)

          具體成交價以合同協(xié)議為準
          • 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
          • 品牌 其他品牌
          • 型號 FPPIC-R-200-standard
          • 產(chǎn)地 www.felles.cn/ald.html
          • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
          • 更新時間 2022/11/14 11:20:26
          • 訪問次數(shù) 1068

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          聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


          孚光精儀是進口精密儀器和實驗室儀器設備供應商,是*基于激光和成像等光子技術分析測試儀器的規(guī)模性進口商和代理商,服務商。
          孚光精儀公司以精密光學技術為特色,以光學應用為宗旨,以歐洲,北美和日本進口精密儀器為主業(yè),為中國客戶提供*分析測試儀器產(chǎn)品,促進光學技術產(chǎn)品在中國的應用和相關技術水平提升。

          21世紀是光學世紀,激光,光譜,光學成像等光學技術極大地促進生物光子學,燃燒和流體力學光學診斷,光譜測試分析等學科發(fā)展和技術提升,成為前沿科學和先進制造*的分析,計量,測試和實驗工具手段,因此“光學”成為“精密”的代名詞,是*精密測試分析的有力實驗技術。


          孚光精儀公司就是這樣一個以光學為特色的進口儀器和實驗室設備公司,擁有齊全的進口精密(光學)儀器種類,龐大而可靠的國外生產(chǎn)商群體,和快捷高效的貿(mào)易體系,是用戶信賴的進口分析測試技術儀器和實驗室儀器的旗艦型供服務商。

          公司品牌釋意


          孚:信服/conviction,

          光:光學/optics

          精:精密/

          precision
          儀:儀器/Instruments

          我們信服于光學,致力于光學精密儀器事業(yè)。


          公司價值
          孚光精儀-精通光學,服務科學

          經(jīng)驗豐富的激光和光學技術工程師幫助用戶出具方案,確認適合應用的精密

          光學儀器和科學儀器裝置,為用戶提供“舒心,省心”的進口體驗。
          以豐富的進口操作經(jīng)驗和電子商務管理體系,高效溝通國外制造商,為用戶提供高效的儀器進口和購置服務!
          齊全的光學種類
          涵蓋了所有光學和激光技術應用領域和相關儀器

          熒光光學成像儀器 (包括FRET系統(tǒng),TIRFM顯微鏡系統(tǒng), 鈣成像顯微鏡系統(tǒng),熒光壽命成像系統(tǒng),生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等生物光子學儀器)

          分子生物學

          光學儀器( 包括凝聚成像,生物發(fā)光和熒光發(fā)光成像系統(tǒng)等)

          醫(yī)用

          光學儀器(內(nèi)窺成像,生物活檢成像,輻射成像等)

          光譜分析

          測試儀器 (激光拉曼光譜儀, FTIR光譜儀,LIBS光譜儀等)

          激光粒度儀器 (基于激光和圖像技術的粒度和濃度

          測試儀器

          光學成像儀器 (高速成像,紅外熱成像,X射線成像)

          光譜成像系統(tǒng) (包括高光譜成像,多光譜成像儀器)

          燃燒和流體力學光學診斷技術和儀器 (基于激光和成像技術,融合光譜分析技術組建PIV,PLIF,溫度探測,燃燒分析成像等儀器)

          無損光學檢測儀器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射線成像,熱成像,光學內(nèi)窺等儀器)

          AFM, SEM,SPM等特種光學顯微鏡

          通用

          實驗室儀器和設備(包含所有涉及光學技術的實驗儀器)

          服務和應用領域

          生物光子學

          生命科學

          醫(yī)學成像

          制藥

          食品工程

          化學和化工

           

          實驗室儀器實驗室建設

          流體力學

          工程熱物理

          燃燒診斷分析

          發(fā)動機研發(fā)

          航空航天

          地球物理科學

          地質(zhì)和石油勘探


          半導體和微電子

           

           

           

           

           

          先進制造

          新能源

          材料科學

          儀器科學與技術

          -------


          客戶群體
               
          高等院校

          *系統(tǒng)研究院所

          中國國有企業(yè)及其研究院所

          外資企業(yè)


          高效的服務體系
          總部位于上海,在上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)具有倉庫,在香港設立貿(mào)易公司,擁有遍布全國的代理商,供應商遍布美國、德國、英國、法國、意大利、奧地利、瑞典、捷克、立陶宛、愛沙尼亞等精密儀器優(yōu)勢國家和地區(qū)。
          公司受益于香港便捷的貿(mào)易條件以及上海自貿(mào)區(qū)和天津自貿(mào)區(qū)的高效進口程序,為客戶提供高效技術儀器進口服務,為制造商提供高效出口服務。

          靈活的購買方式
          孚光精儀在天津和上海均有進口公司,眾邦企業(yè)(天津)貿(mào)易有限公司和輔光精密儀器(上海)有限公司,具有商檢,報關,進出口等高貿(mào)易資質(zhì),為客戶提供優(yōu)質(zhì)而專業(yè)的進口服務,幫助出口商/制造商完成清關服務,并送貨到用戶地址。

           

          外方經(jīng)理定期來華辦公指導                                             工作園區(qū)一角\

          公司電子*門辦公一角                                                   員工文化墻一角


          用戶的青睞和信任
          我們高效的服務和質(zhì)優(yōu)價廉的產(chǎn)品贏得了廣大的青睞和信賴,成為聲譽*的*產(chǎn)品和服務供應商。國內(nèi)的科研單位多次從我公司訂購各種產(chǎn)品。如:
          *上海光機所

          *西安光機所

          *安徽光機所

          *長春光機所

          *合肥物質(zhì)研究院


          *物理研究所

          *光電研究院


          *福建物質(zhì)結構研究所
          中國工程物理研究院
          華中光電技術研究所
          中國電子集團公司53

          清華大學

          北京大學

          中國科技大學


          哈爾濱工業(yè)大學
          山東大學
          武漢大學
          南開大學

          天津大學


          **********

           

           

           

           

          飛秒激光微加工系統(tǒng),激光器,激光晶體,原子力顯微鏡

          科研型原子層沉積系統(tǒng)ALD系芬蘭picosun公司R-200 standard原子層沉積技術,熱壁設計和單獨的入口,可實現(xiàn)無顆粒工藝,適用于晶圓,3D對象和所有納米級特征上的多種材料。
          科研型原子層沉積系統(tǒng)具有專有的Picoflow™技術,即使在挑戰(zhàn)性的通孔,超高長寬比和納米顆粒樣品上也可以實現(xiàn)出色的均勻性。 R-200 standard原子層沉積配備了功能強大且易于更換的液態(tài),氣態(tài)和固態(tài)化學物質(zhì)前體源。與手套箱,粉末室和各種原位分析系統(tǒng)集成,無論您現(xiàn)在的研究領域是什么,或以后可能成為什么樣的研究領域,都可以進行高效,靈活的研究,并獲得良好的結果。
          科研型原子層沉積系統(tǒng)ALD適用于數(shù)十種應用的研發(fā),例如IC組件,MEMS器件,顯示器,LED,激光和3D對象,例如透鏡,光學器件,珠寶,硬幣和醫(yī)療植入物。熱ALD研究工具的市場領dao者。它已成為創(chuàng)新驅動的公司和研究機構的shou選工具。
          科研型原子層沉積系統(tǒng)ALD技術指標

          襯底尺寸和類型50 – 200 mm /單片
          zui大可沉積直徑150 mm基片,豎直放置,10-25片/批次(根據(jù)工藝)
          156 mm x 156 mm 太陽能硅片
          3D 復雜表面襯底(使用Showerhead噴灑淋浴模式效果更佳)
          粉末與顆粒(配備擴散增強器)
          多孔,通孔,高深寬比(HAR)樣品
          工藝溫度50 – 500 °C, 可選更高溫度(真空腔體外壁不用任何冷卻方式即可保持溫度低于60 °C)
          基片傳送選件氣動升降(手動裝載)
          預真空室安裝磁力操作機械手(Load lock )
          前驅體液態(tài)、固態(tài)、氣態(tài)、臭氧源
          4根du立源管線,zui多加載6個前驅體源
          對蒸汽壓低的前驅體(1mbar~10mbar),用氮氣等載氣dao入前驅體瓶內(nèi)引出
          重量350kg
          尺寸( W x H x D))取決于選件
          zui小146 cm x 146 cm x 84 cm
          zui大189 cm x 206 cm x 111 cm
          選件PICOFLOW™擴散增強器,集成橢偏儀,QCM, RGA,N2發(fā)生器,尾氣處理器,定制設計,手套箱集
          成(用于惰性氣體下裝載)。
          驗收標準標準設備驗收標準為 Al2O3 工藝



          應用領域
          客戶使用PICOSUN™ R系列ALD 設備在150mm和200mm(6”和8”)晶圓上所沉積薄膜厚度均勻性數(shù)據(jù)。

          材料非均勻性(1σ)
          AI2O3 (batch)0.13%
          SiO2 (batch)0.77%
          TiO20.28%
          HfO20.47%
          ZnO0.94%
          Ta2O51.00%
          TiN1.10%
          CeO21.52%
          Pt3.41%





          化工儀器網(wǎng)

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