FPANG-COVAP COVAP物理氣相沉積系統(tǒng),PVD系統(tǒng)
- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 FPANG-COVAP
- 產(chǎn)地 www.felles.cn/pvd.html
- 廠商性質 經(jīng)銷商
- 更新時間 2022/11/14 11:13:09
- 訪問次數(shù) 515
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COVAP物理氣相沉積系統(tǒng)為許多工藝應用提供緊湊、經(jīng)濟、但仍然穩(wěn)健的PVD解決方案。專為需要安全可靠PVD的實驗室而設計,該COVAP物理氣相沉積系統(tǒng)可在緊湊的實驗室內生產(chǎn)可重復的高質量薄膜。
COVAP物理氣相沉積系統(tǒng)隔離沉積源以減少熱效應和交叉污染。Covap PVD系統(tǒng)配備了一整套可拆卸腔室屏蔽,以確保腔室易于清潔和維護。當腔室打開時,切斷電源和級電源以及氣壓,確保高水平的安全。它可以集成到手套箱中,也可以在獨立配置中選擇。
COVAP物理氣相沉積系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
矩形蛤殼式腔室,便于接近
即使在手套箱中,也可以輕松裝載材料和基材
Covap物理氣相沉積平臺為移除屏蔽、清潔和為下一次運行準備系統(tǒng)提供了暢通無阻的通道
準備好手套箱集成
緊湊型600mm x 1000mm系統(tǒng)占地面積
從2或4個源配置中進行選擇
基于配方的高級多層控制
順序或共沉積
最大100mm x 100mm基板的固定支架
仔細隔離QCM傳感器,以確保沒有來自相鄰源材料的干擾
渦輪分子泵提供高真空
2年保修,擁有業(yè)界靈敏的支持團隊
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