目錄:沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司>>專業(yè)高溫爐系列>>RTP快速退火爐>> OTF-1200X-4-C4LVS雙管滑動快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS
產(chǎn)品型號 | 雙管滑動快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS |
主要特點 | 1、采用高純Al2O3保溫材料，保證了爐膛有*的溫度均勻性，內(nèi)爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層，可以 提高設(shè)備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。 2、設(shè)有雙石英管，金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上，以發(fā)生CVD反應(yīng)。 3、雙管的真空密封法蘭允許反應(yīng)氣體通過兩管之間（10mm間隙）發(fā)生反應(yīng)，冷卻氣體直接通入內(nèi)管。 4、配有四通道質(zhì)量流量計控制4路氣體，及采用KF25快接和波紋管連接的高速機械泵。 5、底部設(shè)有滑軌，爐子可以從一端滑向另一端，從而實現(xiàn)快速升溫和降溫。 6、樣品所在的位置每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源：單相208-240V AC 50/60Hz 2.5KW（20A保險絲） 2、石英管：外管外徑Φ100mm，內(nèi)徑Φ96mm，長1400mm 內(nèi)管外徑Φ80mm，內(nèi)徑Φ75mm，長1400mm 3、加熱區(qū)：440mm 4、恒溫區(qū)：120mm（雙溫區(qū)爐可獲得240mm） 5、工作溫度：zui高溫度1100℃，連續(xù)溫度1000℃ 6、控溫精度：±1℃ 7、升降溫速度：在使用前需要校正工作溫度、加熱效率、冷卻效率 8、真空度：10-3torr（機械泵），10-5torr（分子泵） 9、真空法蘭：SS304不銹鋼，配有兩個高溫O型圈密封 10、流量計：4路精密質(zhì)子流量計，氣體流量自動控制（數(shù)字顯示） MFC1范圍0-100sccm MFC2范圍0-200sccm MFC3范圍0-200sccm MFC4范圍0-500sccm 11、流量精度：0.2% 12、進出氣口：1/4″卡套 |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：550mm×380mm×520mm；重量：138kg |
可選配件 | 1、銅箔（150m×150mm×25µm，生長石墨烯用） 2、防腐型數(shù)字真空計 |
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