首頁>>沈陽科晶自動化設備有限公司>>產(chǎn)品展示>>CVD及PECVD系統(tǒng)>>CBD/PECVD系統(tǒng)
平行板電容式PECVD 參考價:面議
平行板電容式PECVD是一種用等離子體激活反應氣體,促進在基體表面或近表面空間進行化學反應,生成固態(tài)膜的技術(shù)。等離子體化學氣相沉積技術(shù)的基本原理是在高頻或直流電...球形脈沖激光沉積系統(tǒng)(PLD) 參考價:面議
該系統(tǒng)為球形脈沖激光沉積系統(tǒng)(PLD)工藝研發(fā)設備。脈沖激光沉積 (Pulsed laser deposition, PLD),就是將激光聚焦于靶材上一個較小的...高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV 參考價:面議
高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV是由九通道質(zhì)量流量控制器和高真空機組組成的CVD系統(tǒng),其爐管直徑為4″,Z高溫度可達1200℃,極限真...快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV 參考價:面議
快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV是專為半導體基片、太陽能電池及其它樣品(尺寸可達3″ )的退火而設計,配有3路流量計和機械泵。本機采用 9KW的紅外...開啟式單溫區(qū)低真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-F3LV 參考價:面議
開啟式單溫區(qū)低真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-F3LV是由開啟式單溫區(qū)管式爐、機械泵、三通道浮子混氣系統(tǒng)組成,可為CVD或擴散實驗提供1-3種的混合氣體,真空...高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV 參考價:面議
高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成,Z高工作溫度可達1200℃,混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進行精確...1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系統(tǒng) OTF-1200X-4-C4LV 參考價:面議
1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-C4LV是專門為在金屬箔表面生長薄膜而設計的,特別是應用在新一代能源——柔性金屬箔電極方面的研究...高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV 參考價:面議
高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV是由4″RTP爐、三通道混氣系統(tǒng)和高真空機組組成,可進行半導體基片、太陽能電池及其它樣品(尺寸可達3...帶滑動法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV 參考價:面議
帶滑動法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加熱至1200℃,并通過調(diào)整三個溫區(qū)而建立不同梯度的熱場,可進行退火、擴散、在不同氣氛...4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng) 參考價:面議
4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)是為了使化學反應能在較低的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應,環(huán)境溫度在100-300℃,但反應氣體在輝光放電等離子體中能...1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV 參考價:面議
1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV是由單溫區(qū)管式爐、三路浮子混氣系統(tǒng)和雙旋片式真空泵組成,Z高工作溫度可達1700℃,混氣系統(tǒng)可以...1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV 參考價:面議
1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成,Z高工作溫度可達1600℃,混氣系統(tǒng)可以...微型PECVD系統(tǒng) 參考價:面議
微型PECVD系統(tǒng)采用Φ 3“ × 16“ 的石英腔體,內(nèi)部設有加熱圈對樣品進行加熱,Z高溫度可以達到400℃,且采用程序化控溫,系統(tǒng)還配有2...