目錄:沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司>>CVD及PECVD系統(tǒng)>>CBD/PECVD系統(tǒng)>> OTF-1200X-5-III-F3LV帶滑動(dòng)法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV
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更新時(shí)間：2016-04-12 10:05:37瀏覽次數(shù)：1061評(píng)價(jià)
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產(chǎn)品型號(hào) | 帶滑動(dòng)法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV |
主要特點(diǎn) | 1、雙層殼體，配有冷系統(tǒng)，爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料。 2、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高反射率和保護(hù)爐膛潔凈度。 3、一端法蘭配有滑軌，便于樣品裝卸；另一端法蘭裝有數(shù)字真空計(jì)。 4、采用三個(gè)獨(dú)立PID控制器 ，可以設(shè)置30段升降溫程序，設(shè)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。 5、已通過(guò)CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源：?jiǎn)蜗?/span>AC 208-240V 50/60Hz 7KW （40A保險(xiǎn)絲） 2、石英管：外徑Φ125mm，內(nèi)徑120mm，長(zhǎng)1400mm，帶有一對(duì)真空密封法蘭 3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲 4、加熱區(qū)域：溫區(qū)I長(zhǎng)229mm，溫區(qū)II長(zhǎng)457mm，溫區(qū)III長(zhǎng)229mm，總長(zhǎng)915mm 5、恒溫區(qū)域：三個(gè)溫區(qū)為同一溫度時(shí)為625mm，溫區(qū)II為110mm 6、工作溫度：zui高1200℃，連續(xù)工作1100℃ 7、zui大升降溫速率：20℃/min 8、控溫精度：±1℃ 9、熱電偶：K型 10、浮子流量計(jì)：3個(gè)，量程0-100ml/min、0-160ml/min、0-250ml/min 11、數(shù)字真空計(jì)：10-4torr |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：管式爐1080mm×430mm×600mm；重量：70kg |
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