在各種陶瓷、聚合物薄膜等基底上附著導電膜,常用金、鉑、銀、銅等導電金屬在各種陶瓷、聚合物薄膜等基底上附著導電膜,常用金、鉑、銀、銅等導電性良好的金屬作為導電層,鍍膜儀用于鋰電池的電極制備和改性。
電極制備鍍膜儀配備磁控濺射逐漸和熱蒸發(fā)鍍膜組件,即可實現(xiàn)磁控濺射各種金屬膜,也可實現(xiàn)熱蒸發(fā)度碳膜。雙組件共存,工作時只需將樣品放置與對應的組件下方即可,無需更換組件,操作非常方便。
雙組件設計:配備磁控濺射逐漸和熱蒸發(fā)鍍膜組件,即可實現(xiàn)磁控濺射各種金屬膜,也可實現(xiàn)熱蒸發(fā)度碳膜。雙組件共存,工作時只需將樣品放置與對應的組件下方即可,無需更換組件,操作非常方便。
防污染擋板設計:全自動防污染擋板,在磁控濺射模塊工作時自動切換到鍍碳組件,防止蒸發(fā)源收到污染,反之亦然。
一鍵切換:多功能鍍膜儀兩種工作模式一鍵切換,每次開機自動進入上次關(guān)機的工作模式。
隨著石油、煤炭等常規(guī)能源的不斷消耗及其引起的環(huán)境問題日益嚴峻,新能源動力電池等儲能技術(shù)成為當前的研究熱點。柔性薄膜新能源動力電池產(chǎn)品由于可在柔性基底上使用卷對卷技術(shù)大規(guī)模生產(chǎn),可顯著降低新能源動力電池的成本。柔性薄膜新能源動力電池產(chǎn)品中的薄膜電極層的制備一般采用金屬靶材進行反應磁控濺射鍍膜,或者采用金屬氧化物靶材進行磁控濺射鍍膜,這種鍍膜方法的薄膜沉積速度慢,影響和制約了生產(chǎn)效率,電極制備鍍膜儀就能很好解決這一問題。