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產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	產(chǎn)品種類	電動
價(jià)格區(qū)間	面議	應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

FMSXXY170Z-200-200直線電機(jī)龍門雙驅(qū)平臺

FMSXXY170Z-200-200直線電機(jī)龍門雙驅(qū)平臺

l產(chǎn)品行程可定制，本品為示例樣機(jī)

l?體化大理石臺面設(shè)計(jì)

lX軸采用龍門雙驅(qū)，同步性好

lY軸預(yù)留Z軸掛載接口

l靜音位移臺

l免費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)版SDK

l?性能控制器

l可選配EtherCAT總線控制

產(chǎn)品簡介

FMSXXY170Z-200-200直線電機(jī)龍門雙驅(qū)平臺：我們研發(fā)的?理石龍門雙驅(qū)位移臺，雙向重復(fù)定位精度可達(dá)亞微米級。行程、精度、承載均可定制。采用雙驅(qū)結(jié)構(gòu)，同步性更好、承載更高。Y軸可掛載Z軸。結(jié)合CCD等器件，可做成套設(shè)備交付客戶使用。

產(chǎn)品應(yīng)用

l點(diǎn)膠機(jī)

l顯微掃描

l機(jī)器視覺

l瑕疵檢測

l晶圓檢測

l?物三D打印

性能實(shí)測

FMSXXY170-X軸

FMSXXY170Z-200-200直線電機(jī)龍門雙驅(qū)平臺

FMSXXY170-Y軸

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接線定義

電機(jī)接?

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反饋接?

FMSXXY170Z-200-200直線電機(jī)龍門雙驅(qū)平臺

產(chǎn)品圖紙

FMSXXY170Z-200-200 FMSXXY170Z-200-200直線電機(jī)龍門雙驅(qū)平臺

產(chǎn)品參數(shù)

Model	FMSXXY170Z-200-200
?程(mm)	200(XY)
負(fù)載(Kg)	30
分辨率(μm)	0.05
最?步進(jìn)量(μm)	0.2
單向重復(fù)定位精度/保證值(μm)	±0.5
單向重復(fù)定位精度/典型值(μm)	±0.3
雙向重復(fù)定位精度/保證值(μm)	±1
雙向重復(fù)定位精度/典型值(μm)	±0.5
定位精度/保證值(μm)	±2
定位精度/典型值(μm)	±1
最?速度(mm/s)	500
直線度(μm)	10
平整度(μm)	10
偏擺	10
俯仰	10
重量(kg)	52