FMSR-AB高精度氣浮轉(zhuǎn)臺

l閉式氣浮軸承結(jié)構(gòu)

l直驅(qū)驅(qū)動，零齒槽效應(yīng)

l微米級跳動誤差

l免費標準版SDK

l高性能控制器

l可選配EtherCAT總線控制

產(chǎn)品簡介

FMSR-AB高精度氣浮轉(zhuǎn)臺：我們研發(fā)的FMSR-AB系列氣浮轉(zhuǎn)臺采用經(jīng)過特殊設(shè)計的空氣軸承,該軸承分別對剛度、承載能力和剛度進行了優(yōu)化。與傳統(tǒng)的軸承相比,采用氣體為潤滑劑,因此所有運動都是無接觸的,因此在整個使用壽命之內(nèi),設(shè)備的性能保持不變,并且無需進行特殊維護。該旋轉(zhuǎn)臺采用氣體軸承可提供平穩(wěn)的運動并擁有極低的俯仰、偏擺、滾動、偏航和線性誤差。另其具有清潔、無污染、無摩擦、運行阻尼小、使用壽命久等*性能。

產(chǎn)品應(yīng)用

l圓度測量系統(tǒng)

l微米或納米斷層掃描成像

l精密制造

l同步輻射或X射線

l半導體行業(yè)

產(chǎn)品圖紙

FMSR150-AB

FMSR200-AB

FMSR250-AB

產(chǎn)品參數(shù)