DST2-TG 磁控管臺式濺射鍍膜機(jī)是一種高精度半/全自動真空鍍膜系統(tǒng)，配備一個大腔室（直徑 300 毫米）和兩個直徑為 2 英寸的水冷陰極，使其適用于長時間沉積。該系統(tǒng)是用于濺射、碳纖維和金屬蒸發(fā)的單一平臺。磁控管臺式濺射鍍膜機(jī)可以濺射半導(dǎo)體、電介質(zhì)和金屬靶材。濺射陰極和熱蒸發(fā)舟可以一起安裝或互換安裝，總共有三個沉積源可用。利用碳纖維也可以實(shí)現(xiàn)碳沉積。

DST2-TGB 手套箱濺射和熱蒸發(fā)

• 濺射鍍膜機(jī)和熱蒸發(fā)器的組合，用于手套箱安裝

• 內(nèi)置渦輪分子泵

• 大腔室：直徑 30 厘米，高。20-25 厘米

• 簡單快速的目標(biāo)安裝：無需目標(biāo)支架

• 利用帶背板的目標(biāo)增強(qiáng)熱傳導(dǎo)

• 旋轉(zhuǎn)樣品架

• 安裝在手套箱上的KF40饋入件，用于電源（直流、射頻、大電流）、真空泵軟管、水冷和氬氣/反應(yīng)氣體連接以及電氣連接。

• 通過 MFC 進(jìn)行氣體注入控制

• 雙精度石英晶體厚度傳感器

• Vac Coat 產(chǎn)品在全球范圍內(nèi)由公共和產(chǎn)品責(zé)任保險承保，以防 Vac Coat 系統(tǒng)造成任何財產(chǎn)損失或人身傷害。