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小型真空等離子清洗機(jī)是一款專門針對(duì)科研院所研制的小批量樣品表面處理設(shè)備，利用真空環(huán)境產(chǎn)生等離子體去處理樣品的表面，達(dá)到常規(guī)清洗方法無(wú)法達(dá)到的效果。具有設(shè)備小巧，真空腔容量大，適用于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境；清洗過(guò)程不會(huì)產(chǎn)生高溫，避免產(chǎn)品產(chǎn)生熱變形；可以處理各種各樣的材質(zhì)，如金屬、半導(dǎo)體、氧化物或高分子材料，應(yīng)用廣泛。

　PT500實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)是一款專門針對(duì)科研院所研制的小批量樣品表面處理設(shè)備，利用真空環(huán)境產(chǎn)生等離子體去處理樣品的表面，達(dá)到常規(guī)清洗方法無(wú)法達(dá)到的效果。具有設(shè)備小巧，真空腔容量大，適用于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境；清洗過(guò)程不會(huì)產(chǎn)生高溫，避免產(chǎn)品產(chǎn)生熱變形；可以處理各種各樣的材質(zhì)，如金屬、半導(dǎo)體、氧化物或高分子材料，應(yīng)用廣泛。

實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)產(chǎn)品參數(shù)

1、腔體材質(zhì)：不銹鋼

2、供電電源：AC220V

3、射頻電源功率：0-500W 可調(diào)

4、射頻頻率：25KHz

5、真空度：≤100Pa

6、氣體路數(shù)：?jiǎn)温?/div>

7、氣體流量：0.1-1l/min(可調(diào))

8、清洗時(shí)間：0—999秒連續(xù)可調(diào)

9、內(nèi)腔尺寸：147mm*145mm

10、外形尺寸：452mm*340mm*225mm

11、重量：≈18KG



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