產地類別 |
國產 |
價格區(qū)間 |
5萬-10萬 |
應用領域 |
化工,生物產業(yè),能源,電氣,綜合 |
小型真空鍍膜機采用大抽速分子泵準無油高真空系統(tǒng),機架電控一體化設計,整體布局緊湊合理,充分考慮人機工程學的傾斜操控面板和可直觀觀察蒸發(fā)狀態(tài)的玻璃真空室結構相得益彰。
小型真空鍍膜機是我公司專為科研院所及實驗室用戶群體設計開發(fā)的一款小型高真空蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)。采用大抽速分子泵準無油高真空系統(tǒng),機架電控一體化設計,整體布局緊湊合理,充分考慮人機工程學的傾斜操控面板和可直觀觀察蒸發(fā)狀態(tài)的玻璃真空室結構相得益彰。兩組/三組蒸發(fā)源可兼容金屬、有機物蒸發(fā)。廣泛應用于高校、科研院所教學、制備功能薄膜、蒸鍍電極、掃描電鏡制樣等,特別適合太陽能電池、有機EL、LED顯示管研究與開發(fā)領域。
小型真空鍍膜機主要特點/優(yōu)勢:
★ 玻璃鐘罩真空腔室,最直觀的蒸發(fā)狀態(tài)和薄膜沉積現(xiàn)象觀察;
★ 復合分子泵和直聯(lián)旋片泵,大抽速準無油真空系統(tǒng)(分子泵抽速≥400L/S);
★ 兩組水冷式蒸發(fā)電極,可長時間穩(wěn)定工作,兼容金屬材料與有機材料的蒸發(fā)源設計;
★ 專業(yè)真空蒸發(fā)電源,數(shù)顯工作電流和電壓,恒流輸出;
★ 可鍍110mm方形基片或15~25mm ITO/FTO玻璃25片,可定制一體化高精度刻蝕掩膜板;
★ 襯底可選擇加熱或水冷,源基距≥300mm;
★ 良好的薄膜均勻性和重復性,可在線監(jiān)測和控制蒸發(fā)速率、膜厚;
★ 可沉積金屬(Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等)、非金屬、化合物(MoO3, LiF等)及有機物材料,可拓展沉積單層膜、多層膜及混合膜;
★ 設備集成度高,結構緊湊,占地面積小(0.92平米);設備配腳輪,方便移動和定位。