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        1. 那諾中國有限公司
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          金屬有機化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MOVPE設(shè)備

          參  考  價面議
          具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

          產(chǎn)品型號

          品       牌其他品牌

          廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

          所  在  地國外

          更新時間:2023-11-13 13:31:57瀏覽次數(shù):3626次

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          產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 面議
          應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,制藥
          金屬有機化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MOVPE設(shè)備:針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動控制。

          概述:

          NANO-MASTER針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動控制,*的安全互鎖。

          目前,這項技術(shù)延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統(tǒng),該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。

          金屬有機化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MOVPE設(shè)備應(yīng)用:

          • Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)

          金屬有機化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MOVPE設(shè)備特點:

          • 獨立系統(tǒng)
          • 14”不銹鋼立方體腔體
          • 1次在8”樣品臺上處理16”晶圓片或在12”樣品臺上處理54”片子
          • 加熱的氣體管路
          • RF等離子源,自動調(diào)諧
          • 淋浴頭氣體分布
          • 1100°C的旋轉(zhuǎn)樣品臺
          • N2沖洗
          • 手動放置晶圓片

           

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