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          目錄:中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司>>CVD、PECVD設(shè)備>>CVD管式爐>> OTF-1200X-5L-R-CVD5英寸旋轉(zhuǎn)CVD管式爐

          5英寸旋轉(zhuǎn)CVD管式爐
          • 5英寸旋轉(zhuǎn)CVD管式爐
          參考價(jià) 面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          參考價(jià) 面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 品牌 合肥科晶
          • 型號(hào) OTF-1200X-5L-R-CVD
          • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
          • 所在地 合肥市
          屬性

          >

          更新時(shí)間:2024-10-22 16:37:23瀏覽次數(shù):5003評(píng)價(jià)

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          OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋轉(zhuǎn)CVD爐。爐體有3個(gè)加熱區(qū),可提高溫度均勻性,同時(shí)配有4通道的精密混氣系統(tǒng)。此款管式爐設(shè)計(jì)主要用于電池粉體材料表面包覆或其他粉體材料表面修飾。設(shè)備相關(guān)論文(點(diǎn)擊查看)

           OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋轉(zhuǎn)CVD爐。爐體有3個(gè)加熱區(qū),可提高溫度均勻性,同時(shí)配有4通道的精密混氣系統(tǒng)。此款管式爐設(shè)計(jì)主要用于電池粉體材料表面包覆或其他粉體材料表面修飾。設(shè)備相關(guān)論文(點(diǎn)擊查看)

           

          技術(shù)參數(shù)

          爐體結(jié)構(gòu)

          • 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)
          • 采用高純氧化鋁作為爐膛材料,可以zui大程度減小能量損失
          • 直流電機(jī)帶動(dòng)石英管轉(zhuǎn)動(dòng),其轉(zhuǎn)速為0 - 10 RPM
          • 爐體可傾斜角度為30°
          • 爐體設(shè)計(jì)為開啟式,以便于操作和對(duì)樣品進(jìn)行快速冷卻

          加熱區(qū)

          • 三個(gè)溫區(qū)總長度:600mm
          • 溫區(qū) 1: 150 mm  ( 6")
          • 溫區(qū) 2: 300mm  ( 12")
          • 溫區(qū)3: 150 mm ( 6")
          • 恒溫區(qū)為:450mm@+/-2℃(三個(gè)溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度)

           

          • 儀器中包含一根石英管
          • 尺寸:130 mm O.D. x 120 mm I.D. x 1200 mm L + 60 O.D mm (兩端直徑 )
          •    
          • 儀器中包含一套不銹鋼真空法蘭(上面已經(jīng)安裝了不銹鋼針閥)

          接頭

          • 進(jìn)氣端接口:Φ6.35的卡套接口
          • 出氣端接頭:Φ12的寶塔嘴接頭

          工作溫度

          • 連續(xù)使用溫度:1100℃
          • zui高工作溫度:1200℃< 1 h

          溫控系統(tǒng)

          • 三個(gè)溫區(qū)采用三個(gè)溫控系統(tǒng)獨(dú)立控制,都是采用PID方式調(diào)節(jié),可以設(shè)置30段升降溫程序
          • 爐體上安裝有RS485接口,可選購控溫模塊,采用電腦控制爐體升溫

          熱電偶

          • 三根 Omega K 型鎧裝熱電偶

          真空泵和冷井

          • 配有一雙極旋片真空泵,上面安裝有油霧過濾器
          • 可以選購冷井,防止實(shí)驗(yàn)中的沉積物損害真空泵
          •  

          供氣系統(tǒng)

          • 4通道精密氣體控制系統(tǒng),采用質(zhì)量流量計(jì),觸摸屏控制,可同時(shí)通入1-4種不同氣體
          • 注意:如果通入的是易燃易爆型氣體,必須將設(shè)備安裝在通風(fēng)柜中

          zui大功率

          4KW

          電壓

          208 - 240V單相(需要30 A 的空氣開關(guān))

          質(zhì)保

          一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不含爐管,密封圈和加熱元件)

          質(zhì)量認(rèn)證

          • CE認(rèn)證
          • 所有電器元件(>24V)都通過UL / MET / CSA認(rèn)證
          • 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
          •      

          凈重

          130kg

          應(yīng)用注意事項(xiàng)

          • 此套設(shè)備可以配合本公司連續(xù)送料裝置來達(dá)到連續(xù)進(jìn)料的效果
          •  

          警告

          • 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
          • 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
          • 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)
          • 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
          • 石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃
          • 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

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