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          目錄:中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司>>CVD、PECVD設(shè)備>>CVD管式爐>> TCVD--OTF-1200X-S2-50SL小型雙爐體滑動管式爐

          小型雙爐體滑動管式爐
          • 小型雙爐體滑動管式爐
          參考價 面議
          具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          參考價 面議
          具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 品牌
          • 型號 TCVD--OTF-1200X-S2-50SL
          • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
          • 所在地 合肥市
          屬性

          >

          更新時間:2024-10-22 09:00:49瀏覽次數(shù):2247評價

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          OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器Z高溫度可以達(dá)到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動,實現(xiàn)對原材料的蒸發(fā)/升華,及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現(xiàn)對樣品快速加熱,Z大升溫速率為100℃/min.同時可選擇電動滑軌、質(zhì)量流量計(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。

          OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器zui高溫度可以達(dá)到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動,實現(xiàn)對原材料的蒸發(fā)/升華,及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現(xiàn)對樣品快速加熱,zui大升溫速率為100/min.同時可選擇電動滑軌、質(zhì)量流量計(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。
           

          技術(shù)參數(shù)

          爐體結(jié)構(gòu)

          • 兩個爐體在一個滑動軌道上,爐體zui高工作溫度1200℃
          • 每個爐體加熱區(qū)為200mm,恒溫區(qū)為60mm
          • 一個滑動軌道安裝在兩爐體底部,可手動推動爐體滑動
          • 儀器中配有不銹鋼密封法蘭

          總功率

          2.5KW

          電壓

          AC 208-240V 單相, 50/60 Hz, (需要20A的空氣開關(guān))

          zui高工作溫度

          1200℃

          連續(xù)工作溫度

          1100℃

          加熱&冷卻速率

            加熱速率:

           15°C/sec (RT - 150°C);

           10°C/sec (150°C - 250°C);

            7°C/sec (250°C - 350°C);

            4°C/sec (350°C - 500°C);

            3°C/sec (350°C - 550°C);

            2°C/sec (550°C - 650°C);
            1°C/sec (650°C - 800°C);
            0.5°C/sec (800°C - 1000°C);

          冷卻速率:

          15°C/sec (1000 - 950°C);

          10°C/sec (950°C - 900°C);

          7°C/sec (900°C - 850°C);

          4°C/sec (850°C - 750°C);

          2°C/sec (750°C - 600°C);
          1.5°C/sec (600°C - 500°C);
          1°C/sec (500°C - 400°C);
          0.5°C/sec (400°C - 300°C);

          注意

          zui大加熱和冷卻速率是通過爐體滑動來實現(xiàn)的,將爐體加熱到目標(biāo)溫度,然后滑動爐體到樣品位置來實現(xiàn)快速加熱。對樣品加熱后,滑動爐體,使樣品暴露在加熱區(qū)外,來實現(xiàn)快速冷卻

           

          加熱區(qū)長度

          每個爐體的加熱區(qū)為200mm

          恒溫區(qū)

          60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)

          加熱元件

          摻鉬鐵鉻鋁合金

          爐管

          • 高純石英管
          • 尺寸:50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL

          溫度控制系統(tǒng)

          • 兩個爐體都采用PID方式來調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序。
          • 控溫儀表操作視頻
          • 設(shè)置有超溫和斷熱偶報警
          • 包括2個K型熱電偶(已安裝在爐體上)
          • 可選:可選擇控制模塊MTS-02,可使用電腦來控制爐體的升降溫
             (點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)

          真空法蘭

          • 儀器中包含一對不銹鋼密封法蘭,法蘭上安裝有機(jī)械壓力表
          • 可選購KF25接口的法蘭(提高抽氣速率),數(shù)顯真空計
             

          滑軌長度

          1200mm

          真空度

          • 10E-5 torr(采用分子泵)
          • 10E-2 torr(采用機(jī)械泵)
          • 可在本公司選購真空泵
             

          可選

          • 可選擇電動滑軌,更好的控制快速升降溫速率
          • 1-9通道質(zhì)量流量計(MFC)控制的供氣系統(tǒng)
          • 100W-500W的射頻等離子源
          • 這些模塊與管式爐配合可搭建起等離子增強(qiáng)的TCVD系統(tǒng)
              

          尺寸

          1500 x 380 x 620 mm(爐體+滑軌)

          凈重

          約80kg

          質(zhì)保期

          一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包括爐管、密封圈和加熱元件)

          質(zhì)量認(rèn)證

          • CE認(rèn)證
          • 所有電器元件(輸入電壓>24V)都通過了UL/MET/CSA認(rèn)證
          • 本公司保證此設(shè)備通過TUV(UL61010)或CSA認(rèn)證(需額外出認(rèn)證費(fèi)用)
                

          使用注意事項

          • 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
          • 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加安全
          • 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM
          • 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)

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