目錄:中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司>>CVD、PECVD設(shè)備>>CVD管式爐>> TCVD--OTF-1200X-S2-50SL小型雙爐體滑動管式爐
OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器zui高溫度可以達(dá)到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動,實現(xiàn)對原材料的蒸發(fā)/升華,及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現(xiàn)對樣品快速加熱,zui大升溫速率為100℃/min.同時可選擇電動滑軌、質(zhì)量流量計(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。
技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) |
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總功率 | 2.5KW | |||
電壓 | AC 208-240V 單相, 50/60 Hz, (需要20A的空氣開關(guān)) | |||
zui高工作溫度 | 1200℃ | |||
連續(xù)工作溫度 | 1100℃ | |||
加熱&冷卻速率 |
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加熱區(qū)長度 | 每個爐體的加熱區(qū)為200mm | |||
恒溫區(qū) | 60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C) | |||
加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金 | |||
爐管 |
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溫度控制系統(tǒng) |
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真空法蘭 |
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滑軌長度 | 1200mm | |||
真空度 |
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可選 |
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尺寸 | 1500 x 380 x 620 mm(爐體+滑軌) | |||
凈重 | 約80kg | |||
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包括爐管、密封圈和加熱元件) | |||
質(zhì)量認(rèn)證 |
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使用注意事項 |
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