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          目錄:中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司>>CVD、PECVD設(shè)備>> OTF-1100X11Z3LV CVD

          OTF-1100X11Z3LV CVD
          • OTF-1100X11Z3LV CVD
          參考價(jià) 面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          參考價(jià) 面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 品牌
          • 型號(hào)
          • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
          • 所在地 合肥市
          屬性

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          更新時(shí)間:2024-10-21 19:06:31瀏覽次數(shù):1874評(píng)價(jià)

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          OTF1100X11Z3LV CVD system consists of 11" diameter three zone tube furnace with mechanical vacuum pump system (up to 10-2 torr ) and 6 channel precision digital Mass flow-meters, which can control nine types of gases for CVD or diffusion

          我公司供應(yīng)的產(chǎn)品符合國(guó)家有關(guān)環(huán)保法律法規(guī)的規(guī)定(含采購(gòu)商ISO14000環(huán)境體系要求),不會(huì)造成環(huán)境污染;
               該產(chǎn)品符合采購(gòu)商OHSMS18000職業(yè)安全健康管理體系標(biāo)準(zhǔn)的要求,不會(huì)對(duì)接觸產(chǎn)品的人員健康造成損害!
          主要特點(diǎn): 采用電阻絲加熱;30段程序控溫;3個(gè)獨(dú)立溫區(qū),可通氣氛抽真空

          設(shè)備的控制系統(tǒng),具有安全可靠、操作簡(jiǎn)單、控溫精度高(專家PID控制)、保溫效果好、溫度范圍大、爐膛溫度均勻性高、可通氣氛抽真空等特點(diǎn)。


           
          技術(shù)參數(shù):
          功率: 8 Kw
          電源:AC220V  , 50/60 Hz  (使用時(shí)需配 50A空氣開關(guān))

          加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金

          zui高溫度: 1100 oC

          長(zhǎng)期使用溫度: 1000 oC

          zui快升溫速率: ≤ 10  oC /min

          爐管尺寸及材質(zhì): 石英管;外徑279 x內(nèi)徑269 x長(zhǎng)度1524mm

          加熱區(qū)長(zhǎng)度:三個(gè)溫區(qū)分別是300 mm + 300 mm + 300mm  

          溫區(qū)總長(zhǎng):  900 mm

          恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 500 mm ( 在恒溫區(qū)內(nèi)溫度誤差 ± 1oC)

           

          溫度控制器:

          三塊30段高精度溫度控制器,可分別單獨(dú)控制每個(gè)溫區(qū)
          自動(dòng)PID調(diào)節(jié)功能,可使溫度控制精度保持在± 1oC
          設(shè)有自動(dòng)超溫及斷偶報(bào)警功能。
          請(qǐng)點(diǎn)擊此處下載  使用操作說明書    
          熱電偶類型: 3只K型熱電偶分別安裝于每個(gè)溫區(qū)

          真空密封法蘭:

          可直接連接PV軟管
          采用雙硅膠O型圈密封可耐溫 300oC
          配有氧化鋁絕熱堵頭有效的阻止熱輻射起到保護(hù)法蘭的目的
          真空系統(tǒng):

          采用雙旋葉機(jī)械泵于分子泵相結(jié)合,zui高真空度可達(dá) 10-3.帕  
          1臺(tái)分子泵
          配有一只電阻規(guī)于電離規(guī)作為檢測(cè)元件 
          波紋管連接
          可選配數(shù)字真空計(jì)(美國(guó)進(jìn)口)
           
           

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