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          目錄:中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司>>CVD、PECVD設(shè)備>> 1200°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-HVC

          1200°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-HVC
          • 1200°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-HVC
          參考價(jià) 面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          參考價(jià) 面議
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          • 品牌
          • 型號(hào)
          • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
          • 所在地 合肥市
          屬性

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          更新時(shí)間:2024-10-22 08:43:27瀏覽次數(shù):2190評(píng)價(jià)

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          OTF-1200X--HVC是由OTF-1200X-單溫區(qū)管式爐,二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成。其Z高工作溫度可達(dá)1200℃,極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

             OTF-1200X--HVC是由OTF-1200X-單溫區(qū)管式爐,二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成。其zui高工作溫度可達(dá)1200℃,極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

           技術(shù)參數(shù)

          OTF-1200X系列 管式爐

          殼體結(jié)構(gòu)

          • 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷.使得殼體表面的溫度小于60
          • 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命

          爐管

          • 材質(zhì)高純石英管
          • 石英管包含在內(nèi).
          • 可以選擇其他管徑

          功率

          2.5KW

          工作電壓

          AC 208-240V 單相, 50/60Hz

          加熱元件

          Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,(電阻絲表面涂有氧化鋯涂層,zui大程度的延長(zhǎng)加熱元件的使用壽命)

          工作溫度

          • zui高工作溫度.: 1200°C
          • 連續(xù)工作溫度: 1100°C

          加熱速率

          加熱速率: 1~20°C/min 可編程

          加熱區(qū)長(zhǎng)度

          • 總加熱區(qū)長(zhǎng)度: 440mm
          • 恒溫區(qū)長(zhǎng)度. : 150mm (±1°C)

          控溫系統(tǒng)

          • PID自動(dòng)控制方式,可設(shè)置30段升降溫程序
          •  控溫儀表操作視頻
          • 控溫精度: ±1°C           
          • 熱電偶: K 型已經(jīng)安裝在爐內(nèi)

          真空密封

          • 一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭,已經(jīng)安裝
          • 法蘭上已經(jīng)安裝機(jī)械壓力表
          • 一對(duì)精密針閥
          • KF-40 的抽氣接口

          功率

          100~110W

          工作電壓

          AC 208-240V , 50/60Hz

          高真空機(jī)組

          殼體

          • 殼體尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
          • zui大承載量:       600 Lbs on topf:  
          • 分子泵顯示屏: LCD 數(shù)字顯示
          • 內(nèi)裝有一  Pfeiffer vacuum pump  made in Germany:   

          抽氣速率

          • N2     33 L/s
          • He     39 L/s   (2340L/minute)
          • H2   32 L/s

          工作范圍

           1000 mbar to <1E-7 mbar 

          極限

          <1E-8 mbar (無泄漏

          質(zhì)量流量控制器

          殼體

          • 采用 316不銹鋼制作
          • 混氣箱尺寸: Φ80X120mm  
          • 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

          功率

          18W 

          工作電源

          AC 208-240V, Single phase, 50/60Hz

          質(zhì)保期

          一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管密封圈加熱元件等易耗件

          質(zhì)量認(rèn)證

            CE Certificate


           

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