目錄:中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司>>CVD、PECVD設備>> 1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-GSL-1700X-4-HVC
GSL-1700X-4-HVC是一款CE認證的二通道高真空CVD系統(tǒng),其爐管直徑為4英寸,它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成,其zui高工作溫度可達1600℃,極限真空度可達 to 10^-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導入到管式爐內(nèi)部。
技術(shù)參數(shù)
GSL-1700X 系列管式爐 | 殼體 |
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爐管 |
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功率
| 6KW | |||||
工作電壓
| AC 208-240V單相, 50/60Hz | |||||
加熱元件
| 8 根1800°C grade MoSi2 heating element | |||||
工作溫度 |
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升溫速率
| <=5°C/min | |||||
加熱區(qū)長度 |
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溫控系統(tǒng) |
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真空法蘭 |
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外形尺寸
| 550 x 380 x 520mm | |||||
高真空機組 | 功率
| 100~110W | ||||
工作電壓
| AC 208-240V單相, 50/60Hz | |||||
外形尺寸
| 600(L) x 600(W) x 700(H), mm | |||||
殼體 |
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控制面板 |
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抽氣速率 |
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工作范圍
| 1000 mbar to <1E-7 mbar | |||||
極限
| <1E-8 mbar (without any leaking ) | |||||
質(zhì)量流量控制器 | 殼體 |
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功率
| 18W | |||||
工作電壓
| AC 208-240V, 單相, 50/60Hz | |||||
質(zhì)保期 |
一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件 | |||||
質(zhì)量認證 | CE Certificateed |
Operation Manual