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          目錄:中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司>>薄膜制備全套設(shè)備>>濺射源及真空腔體>> 高真空腔體--HVC-SS
          
		
          
	
          
    	
          
		
          
			
          高真空腔體--HVC-SS
          
		
          
		
          
			
		
          
	
          
	
          
		
          
			
          
           				    
            
			        
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			                高真空腔體--HVC-SS
			            
            
			        
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								生產(chǎn)商
                            
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                      本公司提供高真空腔體，客戶可自行為一些實(shí)驗(yàn)搭建真空系統(tǒng)，如等離子濺射，CVD或ALD等實(shí)驗(yàn)，同時(shí)也可作為高真空儲(chǔ)存箱。
					
          
					
					
            本公司提供高真空腔體，客戶可自行為一些實(shí)驗(yàn)搭建真空系統(tǒng)，如等離子濺射，CVD或ALD等實(shí)驗(yàn)，同時(shí)也可作為高真空儲(chǔ)存箱。

           技術(shù)參數(shù)
          腔體
          • 真空腔體是采用304不銹鋼制作
          • 內(nèi)部尺寸為：372mm(L) x 420mm(W) x 480mm(H) 
          • 真空腔體前部安裝有一個(gè)直徑為350mm的門，而且門上面有一個(gè)直徑為150mm的玻璃窗口
          • 門部位采用硅膠密封圈密封
          • 真空度可達(dá)到1×10-6 torr
          • 內(nèi)部加熱平臺(tái)的溫度可達(dá)到150℃
          接口
          • 腔體后端有一個(gè)KF40接口，用于連接真空泵
          • 頂部有一1/4 NPS 
          • 頂板可以進(jìn)行打孔和改造，以便于安裝各種接口和接頭
          • 客戶可在本公司購(gòu)買快速真空接頭
          可選
          • 本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換（請(qǐng)點(diǎn)擊圖片查看詳情）
          • 分子泵系統(tǒng)
          外形尺寸
          質(zhì)保期
          一年質(zhì)保期，終身維護(hù)
          

                                                                                    				
          

			
          
		
          
	
          
	
          
	
	
	 		 
	
          
		
          
			
          
				
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