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          ICP-500D 薄膜沉積CVD

          具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
          • 品牌 其他品牌
          • 型號 ICP-500D
          • 產(chǎn)地
          • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
          • 更新時間 2024/10/12 15:04:52
          • 訪問次數(shù) 105

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          公司自成立以來就一直專注于半導(dǎo)體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù);目前公司擁有一支在半導(dǎo)體制造、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗豐富的專業(yè)技術(shù)團隊,專業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、先進封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導(dǎo)體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領(lǐng)域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設(shè)備,還能根據(jù)客戶的實際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案。
          目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅實基礎(chǔ)。

           

          半導(dǎo)體設(shè)備,微組裝設(shè)備,LTCC設(shè)備,化工檢測設(shè)備

          SENTECH ICP等離子沉積系統(tǒng)-SI 500D

           

          是主流的半導(dǎo)體設(shè)備商,研發(fā)、制造和銷售良好的薄膜測量儀器(反射儀、橢偏儀、光譜橢偏儀)和等離子工藝設(shè)備(等離子刻蝕機、等離子沉積系統(tǒng)、用戶定制系統(tǒng))。

          SI 500D等離子沉積系統(tǒng)是ICP-PECVD設(shè)備,利用ICP高密度等離子源來沉積電介質(zhì)薄膜??稍跇O低溫度下(< 100ºC)沉積高質(zhì)量SiO2, Si3N4, 和SiOxNy薄膜??梢詫崿F(xiàn)沉積薄膜厚度、折射率、應(yīng)力的連續(xù)調(diào)節(jié)。

           

           

          SI 500 D主要特點:

          • 適用于8寸以及以下晶片

          • 低溫沉積高質(zhì)量電介質(zhì)膜:80°C~350°C

          • 高速率沉積

          • 低損傷

          • 薄膜特性 (厚度、折射率、應(yīng)力) 連續(xù)可調(diào)

          • 平板三螺旋天線式PTSA等離子源 (Planar Triple Spiral Antenna)

          • SENTECH高級等離子設(shè)備操作軟件

          • 穿墻式安裝方式

           

          系統(tǒng)配置:

           

           



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