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          PECVD-III-500A-D210 智能型PECVD系統(tǒng)

          具體成交價以合同協(xié)議為準
          • 公司名稱 安徽貝意克設備技術有限公司
          • 品牌 貝意克
          • 型號 PECVD-III-500A-D210
          • 產(chǎn)地
          • 廠商性質 生產(chǎn)廠家
          • 更新時間 2024/9/4 14:51:44
          • 訪問次數(shù) 200

          聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


                安徽貝意克設備技術有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料設備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與技術服務于一體的高科技企業(yè)。

                公司重視技術攻關和產(chǎn)品研發(fā),建有超卓的產(chǎn)品研發(fā)中心,擁有一支由多名博士碩士組成的專業(yè)研發(fā)隊伍,累計獲得patent200余項。并通過產(chǎn)學研合作,與北京大學南開大學等多所院校建立聯(lián)合實驗室及研究生聯(lián)合培養(yǎng)基地
                公司專注于新材料裝備工藝開發(fā)及裝備制造,產(chǎn)品門類涵蓋了OLED材料提純專用設備系列、碳材料制備設備系列、半導體專用設備系列及金屬納米顆粒設備系列四大類共十余個子類,與眾多材料廠商、科研院校等保持長期合作關系,市場營銷網(wǎng)絡遍布全球各地。
                連年來,公司相繼被認定為“高新技術企業(yè)”“專精特新企業(yè)““科技小巨人培育企業(yè)”“石墨烯生長設備工程技術研究中心”“瞪羚企業(yè)”“雛鷹企業(yè)”,并接連獲得“中國隱形獨角獸500強”“科技創(chuàng)新獎”“創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)獎”等多項榮譽。

           

           

           

           

           

           

           

           

          高溫管式爐,箱式爐,CVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng), 等離子清洗機,陶瓷材料燒結設備

          產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應用領域 綜合

          智能型PECVD系統(tǒng)

          該設備主要分為四大部分:多溫區(qū)管式爐、射頻組件、氣路系統(tǒng)、及自動化控制軟件集成系統(tǒng)。

          1、開啟式加熱爐

          加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料,配K型熱電偶,6點控溫;設備升降溫控制靈活、加熱爐可電動開啟方便客戶更換維修反應管。

          2、氣路系統(tǒng)

          可由質量流量計精確控制多路氣體按不同流量進行混合配比,另外單獨1路過鼓泡器后進入反應管內。

          3、射頻組件
          1000W高性能射頻輝光均勻,可使整個反應腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)。
          4、 智能控制系統(tǒng)          
          采用智能PID模糊控制,30段可編程控制。具有超溫和斷偶報警功能。


          智能型PECVD系統(tǒng)

          最高溫度

          1200℃

          持續(xù)工作溫度

          ≤1100℃

          升溫速率

          ≤10℃/min

          控溫精度

          ±1℃

          加熱元件

          電阻絲

          熱電偶

          K型

          控溫方式

          模糊PID控制和自整定調節(jié),人工智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能,人機界面加PLC控制,15寸液晶屏控制,數(shù)字工控儀表雙控,采用工業(yè)智能控溫儀和軟件實現(xiàn)雙控

          加熱總功率

          ≤15KW

          加熱區(qū)尺寸

          300+300+300mm

          射頻功率

          1000W

          設備尺寸

          2550*850*1600mm

          設備重量

          約600KG



          化工儀器網(wǎng)

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