PECVD-III-500A-D210 智能型PECVD系統(tǒng)
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 安徽貝意克設備技術有限公司
- 品牌 貝意克
- 型號 PECVD-III-500A-D210
- 產(chǎn)地
- 廠商性質 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/9/4 14:51:44
- 訪問次數(shù) 200
產(chǎn)品標簽
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 綜合 |
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該設備主要分為四大部分:多溫區(qū)管式爐、射頻組件、氣路系統(tǒng)、及自動化控制軟件集成系統(tǒng)。
1、開啟式加熱爐
加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料,配K型熱電偶,6點控溫;設備升降溫控制靈活、加熱爐可電動開啟方便客戶更換維修反應管。
2、氣路系統(tǒng)
可由質量流量計精確控制多路氣體按不同流量進行混合配比,另外單獨1路過鼓泡器后進入反應管內。
3、射頻組件
1000W高性能射頻輝光均勻,可使整個反應腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)。
4、 智能控制系統(tǒng)
采用智能PID模糊控制,30段可編程控制。具有超溫和斷偶報警功能。
最高溫度 | 1200℃ |
持續(xù)工作溫度 | ≤1100℃ |
升溫速率 | ≤10℃/min |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
熱電偶 | K型 |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調節(jié),人工智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能,人機界面加PLC控制,15寸液晶屏控制,數(shù)字工控儀表雙控,采用工業(yè)智能控溫儀和軟件實現(xiàn)雙控 |
加熱總功率 | ≤15KW |
加熱區(qū)尺寸 | 300+300+300mm |
射頻功率 | 1000W |
設備尺寸 | 2550*850*1600mm |
設備重量 | 約600KG |