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          PECVD PECVD-III-500A-SSSL 三獨(dú)立智能型滑軌

          具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          產(chǎn)品標(biāo)簽

          PECVD管式爐

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                安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與技術(shù)服務(wù)于一體的高科技企業(yè)。

                公司重視技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā),建有超卓的產(chǎn)品研發(fā)中心,擁有一支由多名博士碩士組成的專業(yè)研發(fā)隊(duì)伍,累計獲得patent200余項(xiàng)。并通過產(chǎn)學(xué)研合作,與北京大學(xué)南開大學(xué)等多所院校建立聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室及研究生聯(lián)合培養(yǎng)基地
                公司專注于新材料裝備工藝開發(fā)及裝備制造,產(chǎn)品門類涵蓋了OLED材料提純專用設(shè)備系列、碳材料制備設(shè)備系列、半導(dǎo)體專用設(shè)備系列及金屬納米顆粒設(shè)備系列四大類共十余個子類,與眾多材料廠商、科研院校等保持長期合作關(guān)系,市場營銷網(wǎng)絡(luò)遍布全球各地。
                連年來,公司相繼被認(rèn)定為“高新技術(shù)企業(yè)”“專精特新企業(yè)““科技小巨人培育企業(yè)”“石墨烯生長設(shè)備工程技術(shù)研究中心”“瞪羚企業(yè)”“雛鷹企業(yè)”,并接連獲得“中國隱形獨(dú)角獸500強(qiáng)”“科技創(chuàng)新獎”“創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)獎”等多項(xiàng)榮譽(yù)。

           

           

           

           

           

           

           

           

          高溫管式爐,箱式爐,CVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng), 等離子清洗機(jī),陶瓷材料燒結(jié)設(shè)備

          產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議
          儀器種類 管式爐 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,能源,電子

           三獨(dú)立智能型滑軌  BTF-1200C-PECVD高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導(dǎo)率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,有利于爐內(nèi)溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng),控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫,電力調(diào)制器控制;負(fù)載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù),無須操作人員的干預(yù),可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號,同時系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報警保護(hù)功能,大大降低了對操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求,關(guān)鍵電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進(jìn)口產(chǎn)品,做到高性能、免維護(hù),提高了設(shè)備質(zhì)量的可靠性。  三獨(dú)立智能型滑軌         

            

          最高溫度

          1200℃

          使用溫度

          ≤1100℃

          爐膛有效尺寸

          Φ100mm(適用于2-3英寸樣品,爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制。)

          爐膛材料

          氧化鋁、高溫纖維制品

          熱電偶類型

          K型熱電偶

          控溫精度

          ±1℃

          控溫方式

          30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定,操作界面為7”工控電腦,內(nèi)置PLC控制程序。

          加熱長度

          230+230+230mm

          恒溫長度

          100+100+100mm

          加熱原件

          電阻絲

          供電電源

          單相,220V,50Hz

            2、PE射頻電源

          功率輸出范圍

          0W~500W

          最大反射功率

          100W

          射頻輸出接口

          50 Ω, N-type, female

          功率穩(wěn)定度

          ≤5W

          諧波分量

          ≤-50dbc

          供電電壓

          單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

          整機(jī)效率

          >=70%

          功率因素

          >=90%

          冷卻方式

          強(qiáng)制風(fēng)冷

          3、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

          連接頭類型

          雙卡套不銹鋼接頭

          標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)

          50sccm,100sccm、500sccm

          (可根據(jù)用戶要求定制)

          準(zhǔn)確度

          ±1.5%F.S

          線性

          ±1%F.S

          重復(fù)精度

          ±0.2%F.S

          響應(yīng)時間

          氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

          工作壓差范圍

          0.1~0.5 MPa

          最大壓力

          3MPa

          接口

          Φ6,1/4''

          顯示

          4位數(shù)字顯示

          工作環(huán)境溫度

          5~45高純氣體

          壓力真空表

          -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

          截止閥

          Φ6

          內(nèi)外雙拋不銹鋼管

          Φ6

          4、低真空機(jī)組

          空氣相對濕度

          ≤85%

          工作環(huán)境

          5℃~40℃

          工作電電壓

          220V±10%  50~60HZ

          功率

          1KW

          抽氣速率

          10m3/h

          極限真空

          5X10-1Pa

          工作壓力范圍

          1.01325X105~1.33X10-2Pa

          耐壓值

          0.03MPa

          容油量

          1.1L

          進(jìn)氣口口徑

          KF25

          排氣口口徑

          KF25

          噪音

          50dB

          連接方式

          采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連




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