化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>集成電路測(cè)試與分選設(shè)備>探針臺(tái)> 美國(guó)Lakeshore 低溫探針臺(tái)8-12寸
美國(guó)Lakeshore 低溫探針臺(tái)8-12寸
- 公司名稱 昱臣半導(dǎo)體技術(shù)（香港）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2024/4/14 11:05:38
- 訪問(wèn)次數(shù) 113
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CPX低溫探針臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì)以滿足廣泛實(shí)驗(yàn)的需求，是Lake Shore功能最多的高性能低溫探針臺(tái)。CPX多樣的選件和配置可使研究者完成精確的、富有挑戰(zhàn)性的測(cè)量。CPX具有多個(gè)防輻射屏蔽層，以實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的低溫性能，其低溫選件可使樣品溫度低至1.6 K。探針臺(tái)內(nèi)多個(gè)溫度計(jì)的安裝可確保準(zhǔn)確和重復(fù)的測(cè)量。
由于采用了分流設(shè)計(jì)，樣品可在防輻射屏冷卻時(shí)保持溫度，與高真空選件，限度地減少了冷卻過(guò)程中的樣品冷凝，這是測(cè)量親水性有機(jī)材料的關(guān)鍵要求。理想的應(yīng)用包括有機(jī)物研究和微波測(cè)量。真空Load Lock可配置用于高通量測(cè)量。此外，CPX可以被配置為能夠在真空下將受控的樣品輸送到腔室。CPX可容納直徑為51 mm（2英寸）的晶圓（最多102 mm[4英寸]可選）。該系統(tǒng)使用液氦或液氮運(yùn)行。
主要特征：
√ 溫度范圍4.3 K~475 K
√ 可選低溫1.9 K/1.6 K
√ 標(biāo)準(zhǔn)2英寸（51 mm）樣品，4英寸（102 mm）可定制
√ 樣品可面內(nèi)±5°旋轉(zhuǎn)
√ 樣品振動(dòng)＜30 nm可選
√ 超高真空選件
√ 可定制真空腔聯(lián)用轉(zhuǎn)移樣品，避免樣品暴露在大氣環(huán)境
√ 環(huán)形磁體選件0.19T
設(shè)備參數(shù)：
| 溫度范圍 | ||
| 最多安裝6個(gè)探針臂 | 基礎(chǔ)溫度4.3 K，控制范圍4.4 K ~ 475 K | |
| 安裝PS-LT低溫選件 | 基礎(chǔ)溫度1.9 K，控制范圍2 K ~ 475 K | |
| 安裝PS-VLT-CPX極低溫選件 | 基礎(chǔ)溫度1.6 K，控制范圍1.65 K ~ 400 K | |
| 安裝PS-LL-CPX選件（Load Lock） | 基礎(chǔ)溫度10 K，控制范圍10 K ~ 400 K | |
| 溫度穩(wěn)定性 | 液氦 | 液氮 |
| 基礎(chǔ)溫度 (無(wú)加熱控制) | ±15 mK | ±20 mK |
| <10 K | ±50 mK | — |
| 10 K ~ 100 K | ±20 mK | ±50 mK |
| 101 K ~ 250 K | ±15 mK | ±50 mK |
| 251 K ~ 350 K | ±15 mK | ±100 mK |
| 351 K ~ 675 K | ±50 mK | ±100 mK |
| 真空 | 以TPS-FRG分子泵組為標(biāo)準(zhǔn) | PS-HV-CPX高真空選件 |
| 抽真空時(shí)間 | 30 min (<1 × 10-3 Torr) | 10 min (<1 × 10-3 Torr) |
| 室溫 | <5 × 10-4 Torr | <5 × 10-6 Torr |
| 基礎(chǔ)溫度 | <1 × 10-5 Torr | <5 × 10-7 Torr |
| 溫度 | <1 × 10-5 Torr | <5 × 10-7 Torr |
| 循環(huán)時(shí)間 | ||
| 總循環(huán) | 3 h | |
| 抽真空 | 0.5 h | |
| 探針臺(tái)冷卻 | 1.25 h | |
| 探針臺(tái)升溫 | 2 h | |
| Load Lock樣品更換時(shí)間 | 1小時(shí)（配有PS-LL-CPX選件） | |
| 樣品 | ||
| 尺寸 | 51 mm（2英寸）標(biāo)準(zhǔn) | |
| 25.4 mm（1英寸）安裝PS-VLT-CPX高真空選件 | ||
| 25.4 mm（1英寸）安裝PS-LL-CPX Load Lock選件 | ||
| 樣品背光接口 | 不可選 | |
| 樣品旋轉(zhuǎn) | ±5°面內(nèi)旋轉(zhuǎn) | |
| 樣品振動(dòng) | ＜300 nm標(biāo)準(zhǔn)，＜30 nm配有PS-PVIS減震選件 | |
| 探針配置 | ||
| 探針數(shù) | 6 | |
| 探針臂溫度計(jì) | 用于監(jiān)視探針臂的溫度 | |
| 冷卻探針支架 | ＜20 K(樣品在基礎(chǔ)溫度下) | |
| 探針支架 | 連接樣品臺(tái)或4K防輻射屏熱沉 | |
| 探針臂支架 | 連接防輻射屏熱沉 | |
| DC/RF探針 | 電絕緣>100GΩ用于低漏電流測(cè)量 | |
| 微波探針 | 頻率范圍從DC到67GHz | |
| 光纖探針 | 可用于電光測(cè)量 | |
| 落針?lè)秶?/span> | 所有探針均可在直徑為 25.4 毫米（1 英寸）的圓內(nèi)落針 | |
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