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          Wafer級超快三維磁場探針臺(Hprobe)

          具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          產(chǎn)品標(biāo)簽

          磁場探針臺三維磁場探針臺

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          昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司是專業(yè)的半導(dǎo)體及微電子領(lǐng)域儀器設(shè)備供應(yīng)商,昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司所代理的儀器設(shè)備廣泛用于高校、研究所、半導(dǎo)體企業(yè)。

          昱臣半導(dǎo)體技術(shù)(香港)有限公司目前代理的主要產(chǎn)品包括:

          - 霍爾效應(yīng)測試儀(Hall Effect Measurement System);

          - 快速退火爐(RTP);

          - 回流焊爐,真空燒結(jié)爐(Reflow Solder System);

          - 探針臺(Probe Station),低溫探針臺(Cryogenic Probe Station);

          - 貼片機(jī)(Die Bonder),劃片機(jī)(Scriber),球焊機(jī)/鍥焊機(jī)(Wire Bonder);

          - 原子層沉積系統(tǒng)(ALD),等離子增強(qiáng)原子層沉積設(shè)備(PEALD);

          - 磁控濺射鍍膜機(jī)(Sputter),電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)(E-beam Evaporator),熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)(Thermal Evaporator),脈沖激光沉積系統(tǒng)(PLD) ;

          - 低壓化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(LPCVD),等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),快速熱化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(RTCVD);

          - 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)(RIE),ICP刻蝕機(jī),等離子體刻蝕機(jī);

          - 致冷機(jī)/低溫恒溫器(Cryostat/Cryocooler);

          - 加熱臺、熱板、烤膠臺 (Hot Chuck / Hot Plate);

          - 掃描開爾文探針系統(tǒng)(Kelvin Probe),光反射膜厚儀(Reflectometer);

          - 高溫超導(dǎo)磁體(HTS Magnet),快速場循環(huán)核磁共振弛豫測試儀(FFC Reflexometer);






          原子層沉積系統(tǒng),快速退火爐,PECVD,刻蝕機(jī)

          IBEX-300晶圓超快三維磁場探針臺


          主要特點(diǎn): 

          ■   可以用于100~300mm晶圓
          ■   提供大的面內(nèi)和垂直磁場
          ■   磁場定向和旋轉(zhuǎn)的三維控制
          ■   快速掃描能力 

          ■   嵌入式傳感器校準(zhǔn)
          ■   自動測試程序
          ■   MRAM和傳感器參數(shù)提取軟件
          ■   與標(biāo)準(zhǔn)探針卡兼容   

          主要應(yīng)用方向:
          ■   磁性隧道結(jié)

          ■   磁隨機(jī)存取存儲器

          ■   集成磁傳感器(Hall, GMR, TMR)

          ■   智能傳感器 


          技術(shù)原理:

          探針臺采用特的三維磁場發(fā)生器,每個磁場空間軸立驅(qū)動。利用這3個自由度,用戶可以在任意空間方向應(yīng)用和控制場,也可以生成旋轉(zhuǎn)場。三維磁場裝置配備了所有相關(guān)配件,測試程序和磁鐵校準(zhǔn)工具包。

          三維磁發(fā)生器置于探針臺部,并在晶圓上產(chǎn)生局部磁場。為了適應(yīng)器件測試設(shè)計,探頭被放置在晶圓片和發(fā)生器之間的間隙中。磁場發(fā)生器和晶圓托之間的Z方向距離一般可在500μm至5mm之間可調(diào),取決于所使用的探針卡和探針。

          1.jpg

          三維磁場裝置

                 

          相關(guān)參數(shù): 


          面內(nèi) (XY)

          垂直 (Z)

          大單軸磁場

          350 mT

          550 mT

          磁場均勻性@ +/1mm

          ± 1%

          ± 1%

          磁場分辨率

          0.05 mT

          0.02 mT

          角度分辨率

          0,02°

          -

          場掃描采樣率

           < 50 kHz

            < 50 kHz

          R-H 回線測試時間

           < 100 ms

           < 100 ms


          快速掃場能力:

          6.jpg


          儀器配置:     

          Hprobe探針臺配備整套儀器驅(qū)動和測量大多數(shù)磁性器件,如MRAM (STT、SOT、電壓控制)、傳感器(AMR、GMR、TMR)和磁性MEMS。儀器可以包括源表和測量單元(SMU)、數(shù)字萬用表(DMM)、任意波形發(fā)生器(AWG)、脈沖發(fā)生器(PG)、交換矩陣、數(shù)據(jù)采集板等。其他儀器可根據(jù)要求提供,并且可以很容易地集成到工具的硬件和軟件中。 

          任意波形發(fā)生器(AWG)
          ■   雙通道, 帶寬 40MHz
          ■   正弦波, 方波 & 脈沖 至30MHz
          ■   斜波 & 三角波 至 200kHz
          ■   任意波形 < 1M 采樣/通道
          ■   大采樣速率 250M 采樣/秒 

          7-1.jpg

          脈沖發(fā)生器(PG)
          ■   脈沖寬度小至 200 ps 
          ■  上升/下降時間< 70 ps (20%-80%)
          ■   輸出電壓  10 mVpp 至 5 Vpp
          ■   大重復(fù)頻率 500 MHz 每通道l
          ■   幅值 大至 5V   

          源表和測量單元(SMU)
          ■   電壓小量程 20mV
          ■   電流小量程 1nA
          ■   > 3,000 讀數(shù) /秒

          數(shù)字萬用表(DMM)
          ■   18 位, 小量程 100mV
          ■   分辨率 10nV
          ■   小積分時間 10μ秒   

             

          探針卡:

          Hprobe探針臺使用非常靈活,用戶可以使用標(biāo)準(zhǔn)的商用探針卡,也可以使用帶有DC和RF探頭的微操作器。




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