探針臺(tái)系統(tǒng)分為手動(dòng)探針臺(tái)與自動(dòng)探針臺(tái),以下我們主要分析手動(dòng)探針臺(tái)。
探針臺(tái)用途:
手動(dòng)探針臺(tái)又稱探針測試臺(tái)主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個(gè)測試平臺(tái),探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個(gè)可調(diào)測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析,抽查測試等用途
探針臺(tái)系統(tǒng)組成:
探針臺(tái)臺(tái)體+顯微鏡+探針座+探針夾具+探針+測試源表(請(qǐng)注意無測試源表就構(gòu)成不了系統(tǒng),探針臺(tái)只是提供一個(gè)測試平臺(tái),一切數(shù)據(jù)的測量都需要依靠測試源表來完成)
探針臺(tái)測試環(huán)境:
可提供的測試環(huán)境有:常溫、高溫、高低溫測試、真空高低溫、高壓、輻射以及磁場環(huán)境。
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