iH80 愛德華干式真空泵 iH80 維修
- 公司名稱 深圳市信仕德科技有限公司
- 品牌
- 型號 iH80
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2016/5/18 14:14:25
- 訪問次數(shù) 377
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Edwards 高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明,可以按照zui高工作標(biāo)準(zhǔn)運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率,同時zui大程度地減小占地面積、降低運行成本,實現(xiàn)了高的可靠性和性能。
Edwards iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
應(yīng)用
負(fù)載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
功能和優(yōu)勢
優(yōu)化了設(shè)施消耗。
無需預(yù)防性維護。
懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機功率的同時zui大程度提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結(jié)器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。
峰值速度: 103 m3h-1
61 cfm
1717 l min-1
極限真空: 1 x 10-2 mbar
7.5 x 10-3 Torr
1 Pa
典型軸封氮流量: 4 slm
進氣口連接: ISO63
出口連接: NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量: 120 l h-1
2 l min-1
重量: 240 kg
極限功率輸入: 2.7 kW
電機額定功率: 3.5 kW
油容量: 0.7 l