iH600 愛德華干式真空泵 iH600 維修
- 公司名稱 深圳市信仕德科技有限公司
- 品牌
- 型號 iH600
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2016/1/19 11:05:20
- 訪問次數(shù) 1490
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相,PN:A59020908
iH600 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相,PN:A59020945
iH600 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相,PN:A59020946
iH600 干式泵 230V,60 Hz,3 相,PN:A59020957
Edwards 高級半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應用證明,可以按照zui高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率,同時zui大程度地減小占地面積、降低運行成本,實現(xiàn)了高的可靠性和性能。
Edwards iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
應用
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
峰值速度: 600 m3h-1
353 cfm
10000 l min-1
極限真空: 7 x 10-4 mbar
5.3 x 10-4 Torr
0.07 Pa
典型軸封氮流量: 4 slm
進氣口連接: ISO100
出口連接: NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量: 240 l h-1
4 l min-1
重量: 415 kg
極限功率輸入: 3.4 kW
電機額定功率: 6.1 kW
油容量: 1.43 l