iH1800HTX 愛德華干式真空泵 iH1800HTX 維修
- 公司名稱 深圳市信仕德科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) iH1800HTX
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2015/12/26 10:37:18
- 訪問次數(shù) 563
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iH1800HTX 干式泵 460V,60 Hz,3 相,PN:A59042908
iH1800HTX 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相,PN:A59042945
iH1800HTX 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相,PN:A59042946
iH1800HTX 干式泵 230V,60 Hz,3 相,PN:A59042957
iH1800HTX 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相,PN:A59062945
Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明,可以按照zui高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,同時(shí)zui大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。
Edwards 專為需要較高的工作溫度以避免制程氣體冷凝的工藝(如 300 mm LPCVD 氮化物)而設(shè)計(jì)。
應(yīng)用
負(fù)載鎖
輸送
計(jì)量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
功能和優(yōu)勢(shì)
優(yōu)化了設(shè)施消耗。
無需預(yù)防性維護(hù)。
懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)zui大程度提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器,而第五級(jí)泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。
峰值速度: 1800 m3h-1
1060 cfm
30000 l min-1
極限真空: 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
典型軸封氮流量: 4 slm
進(jìn)氣口連接: ISO160
出口連接: NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量: 240 l h-1
4 l min-1
重量: 502 kg
極限功率輸入: 4.1 kW
電機(jī)額定功率: 7.0 kW
油容量: 1.6 L