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          氣體質量流量控制器-基于層流壓差式的專業(yè)解析

          來源:陜西易度智能科技有限公司   2025年01月02日 17:29  

          氣體流量控制器(Mass Flow Controller, MFC)是一種用于精確控制氣體流量的關鍵設備,廣泛應用于半導體制造、化學工藝、生物醫(yī)藥以及環(huán)保等領域。其工作原理和性能表現(xiàn)直接決定了相關工藝的效率與質量。

          易度智能作為國產(chǎn)自研層流原理的MFC制造商,以其技術和產(chǎn)品性能成為行業(yè)的獨角獸。小編從專業(yè)視角詳細解析基于層流壓差原理的MFC核心技術、工作機制及易度智能MFC的產(chǎn)品優(yōu)點。

          1. 層流的基本特性

          層流是氣體在低雷諾數(shù)條件下的穩(wěn)定流動狀態(tài),在層流狀態(tài)下,氣體的流量與壓差成正比。這一特性為層流壓差式氣體流量控制器的設計提供了理論基礎。

          2. 壓差式測量的實現(xiàn)

          層流壓差式MFC通過以下關鍵組件實現(xiàn)流量測量:

          層流元件:精密的機械結構確保氣體在通過時保持層流狀態(tài)。

          壓差傳感器:自研高靈敏傳感器實時測量層流元件兩端的壓差值。

          計算方式:測量出壓差后就可以根據(jù)標定數(shù)據(jù)獲得工況流量和質量流量。

          易度智能層流質量流量計及控制器的核心優(yōu)勢

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          3. 國產(chǎn)自研!

          易度智能是國內(nèi)第—家獲得層流壓差式CPA資質批準證書的企業(yè),也是有能力生產(chǎn)通用型層流質量流量計的制造商。其產(chǎn)品補充了國內(nèi)市場的技術空白,具備可平替進口設備的能力。

          4. 高精度與高穩(wěn)定性

          量程范圍廣:高精型產(chǎn)品覆蓋0.1sccm5000slpm的量程需求,適應多樣化的工況場景。

          測控精度:高精型產(chǎn)品測量誤差控制在±0.5%讀數(shù)精度以內(nèi),重復性達到±0.1%,在行業(yè)中處于上游水平。

          溫度壓力補償:內(nèi)置溫度傳感器和壓力傳感器,通過實時修正,保證不同環(huán)境條件下的精確測量。

          5. 嚴苛的質量保障

          核心部件自主研發(fā):所有關鍵組件均為自主設計與制造,確保質量可控,可根據(jù)需求靈活定制產(chǎn)品

          疲勞與耐久測試:每款產(chǎn)品需通過數(shù)千萬次疲勞測試,確保長期穩(wěn)定運行。

          廣泛氣體兼容性:內(nèi)置70+種氣體及混合氣體數(shù)據(jù)庫,用戶可根據(jù)工藝需求快速適配多種氣體,開機即測,無需轉換系數(shù)。

          基于層流壓差原理的氣體流量控制器以其高精度、快速響應和可靠性在工業(yè)領域中占據(jù)重要地位。易度智能以國產(chǎn)自研,超高技術和高可靠性產(chǎn)品,為更多行業(yè)提供了可靠的解決方案。


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