8865SC13型美國(guó)BIRD射頻終端13.56 MHz 超穩(wěn)定油電介質(zhì)射頻終端，為了獲得最大的工藝重復(fù)性和一致性，現(xiàn)代等離子體應(yīng)用需要精確的射頻功率調(diào)節(jié)和控制。確保準(zhǔn)確且可重復(fù)地將射頻功率輸送到腔室的關(guān)鍵因素是射頻發(fā)生器的校準(zhǔn)、調(diào)節(jié)和監(jiān)控。 Bird 現(xiàn)在提供超穩(wěn)定、低 VSWR 負(fù)載，與 Bird 4020 系列等精密功率傳感器一起使用時(shí)，可以快速、精確地測(cè)量發(fā)電機(jī)功率輸出。 8865SC13 不僅提供低 VSWR，而且在工藝關(guān)鍵頻率下 VSWR 總變化小于 0.1 dB。無(wú)需負(fù)載預(yù)熱，也無(wú)需因校準(zhǔn)不同時(shí)間長(zhǎng)度而產(chǎn)生重復(fù)性風(fēng)險(xiǎn)。這可以最大限度地減少與校準(zhǔn)相關(guān)的誤差并控制更關(guān)鍵的過(guò)程變量之一。

    8865SC13型美國(guó)BIRD射頻終端產(chǎn)品規(guī)格如下：

額定功率1千瓦頻率范圍和駐波比DC 至 28 MHz @ 1.1 最大值

駐波比小于1.05:1阻抗Ω50（標(biāo)稱）駐波比穩(wěn)定性< 0.1 dB，穩(wěn)定頻率下 0 至 100% 額定功率穩(wěn)定頻率13.56兆赫±10赫茲連接器“QC”LC 型（母頭）- 通常提供聯(lián)鎖熱敏開(kāi)關(guān) - 可選正常情況下關(guān)閉。開(kāi)啟溫度 236 °C (457 °F)熱敏開(kāi)關(guān)額定值115 伏交流電，10 安

230 伏交流電，5 安溫度范圍工作： +5 至 +40 °C（+41 至 +104 °F）

存儲(chǔ)： – 40 至 +45 °C（– 40 至 +113 °F）高度1520 m（5000 英尺）濕度最大 95% 非冷凝冷卻方式油介電和對(duì)流電流方面19.5 英寸 x 7.5 英寸 x 13.2 英寸

496 x 184 x 334 毫米重量32 磅。

14.5公斤結(jié)束黑色環(huán)氧樹(shù)脂

東莞市廣聯(lián)自動(dòng)化科技有限公司專業(yè)供應(yīng)進(jìn)口電磁閥、氣缸、泵、傳感器、繼電器、開(kāi)關(guān)、離合器、過(guò)濾器、濾芯、流量計(jì)、液位計(jì)、編碼器、伺服閥等產(chǎn)品。德國(guó)美國(guó)有公司，廠家一手貨源，詳請(qǐng)致電。