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SONIC μLF-300S超聲波微量液體流量計的資料
用于
IPA、純水和化學(xué)液體等半導(dǎo)體制造過程中微觀區(qū)域的流量管理
?測量1ml/min
以上的微小流量 ?通過數(shù)字信號處理
高精度測量微小流量 ?傳感器部具有與流體的非接觸式結(jié)構(gòu)
?范圍廣
產(chǎn)品規(guī)格
■ 微液體流量計（傳感器分離型）
微LF-300S
| 型 | μLF-300S + μLT-8I （1/8英寸） 或μLF-300S + μLT-4I （1/4英寸） |
| 測量原理 | 超聲波傳播時間差法 |
| 被測液體 | 純水、水溶液、各種化學(xué)溶液 * 請?zhí)崆皺z查水以外的液體 |
| 自適應(yīng)流體溫度范圍 | 如果您在 15°C~80°C * 60°C 或更高溫度下使用，請?zhí)崆皺z查 |
| 流體壓力 | 0.5MPa 以下 |
| 流體動力學(xué)粘度 | 100mm^2/sec 或更小 |
| 流量范圍 | 0 ml/min ~ 1000 ml/min （μLF-300S + μLT-8I） 0 ml/min ~ 4000 ml/min （μLF-300S + μLT-4I） |
| 測量精度 | ±0.5%RD （1/8英寸 ： 200 ~ 1000ml/min 條件： 常溫、恒溫水） ±1ml/min （1/8英寸： 0 ~ 199ml/min） ±0.5%RD （1/4英寸： 800 ~ 4000ml/min 條件：常溫、恒溫水） ±4ml/min （1/4英寸：0~ 799 毫升/分鐘） |
| 重復(fù)性 | ±0.2%（純品，液體溫度±0.5°C，平均 30 秒） |
| 權(quán)力 | 直流 24V ±10% |
| 功耗 | 3.6W 或更低 |
| 重量 | 傳感器 240 克，探測器 70 克 |
| 尺寸 WxHxD（mm） | 傳感器 97 x 49 x 127 探測器 90 x 25 x 20（不含管） |
| 探測器 | |
| 管材 | PFA（含氟聚合物） |
| 管徑 | 1/8 英寸外徑：3.17 毫米，內(nèi)徑：2.17 毫米，1/4 英寸外徑：6.35 毫米，內(nèi)徑：4.35 毫米 |
| 結(jié)構(gòu) | 相當(dāng)于 IP65 |
| 包含電纜 | 5m，連接器連接 |
| Input 部分 | |
| 數(shù)字輸出 | 4 線 RS-422、4 線 RS-485 |
| 模擬輸出 | 4-20mA（瞬時流量），負(fù)載電阻 500Ω 以下 |
| 積分脈沖輸出 | 1ch （集電極開路） |
| 警報輸出 | 1ch （集電極開路） |
| 輸入 | 1ch（零流量設(shè)置或全清除） |
| 鍵入命令 | 4 輸入按鈕 |
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