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在X射線(xiàn)熒光分析中，物質(zhì)中所含的每種元素都會(huì)產(chǎn)生多種特征X射線(xiàn)，因此需要一種裝置使用適當(dāng)?shù)姆椒▽⑺鼈兎蛛x并分別測(cè)量它們的強(qiáng)度。根據(jù)檢測(cè) X 射線(xiàn)的方法，有兩種類(lèi)型的設(shè)備。它們是波長(zhǎng)色散 (WDX) 和能量色散 (EDX)。
1.波長(zhǎng)色散裝置
這是一種使用分光元件將 X 射線(xiàn)分離成波長(zhǎng)并將其引導(dǎo)至探測(cè)器的設(shè)備。該探測(cè)器僅測(cè)量目標(biāo)特征X射線(xiàn)的強(qiáng)度，具有高波長(zhǎng)分辨率和優(yōu)異的測(cè)量靈敏度和精度。
然而，測(cè)量樣品的表面必須光滑，并且分光元件和探測(cè)器必須精確旋轉(zhuǎn)，使得設(shè)備大型且昂貴。
2、能量分散裝置
熒光X射線(xiàn)直接進(jìn)入探測(cè)器，接收到的信號(hào)在設(shè)備內(nèi)部進(jìn)行電處理以探測(cè)特征X射線(xiàn)。盡管分辨率、靈敏度和準(zhǔn)確度不如波長(zhǎng)色散類(lèi)型，但它們需要的分析時(shí)間更少，更容易處理，而且更便宜。另外，由于易于小型化，即使表面凹凸也能進(jìn)行測(cè)量，因此有手持式等多種產(chǎn)品在銷(xiāo)售。
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