?適合半導(dǎo)體等需要供給高潔凈度氣體的行業(yè)。

?主體材質(zhì)為SUS316L二次熔煉或SUS316L。

?接觸氣體部分經(jīng)過電解研磨處理。

?外部金屬密封構(gòu)造。

型號確認(rèn)

產(chǎn)品樣本

?從半導(dǎo)體到一般行業(yè)都可使用的標(biāo)準(zhǔn)型。

?主體材質(zhì)可根據(jù)流體選擇SUS316或黃銅。

型號確認(rèn)

產(chǎn)品樣本

?用于半導(dǎo)體等需要高潔凈度氣體的行業(yè)。

?可作為氣體的切斷閥使用。

?接觸氣體部分無彈簧，驅(qū)動部也使用膜片隔離，因此減小了氣路的死區(qū)，抑制了粒子的產(chǎn)生。

型號確認(rèn)

產(chǎn)品樣本

?用于精密洗凈及潔凈室組裝。

?全部產(chǎn)品均經(jīng)過了氦氣泄漏檢測。

?符合SEMI規(guī)格

?采用方便作業(yè)的鍛造主體。

型號確認(rèn)

產(chǎn)品樣本

［單向閥］

?防止背壓使流體逆流。

?構(gòu)造簡單，內(nèi)部的可動零部件僅為O形圈。

?采用無彈簧的構(gòu)造，可減少因震顫等產(chǎn)生的顆粒，降低下游的壓力變動。

［真空發(fā)生器］

?真空發(fā)生器。

?用于更換氣罐時，排出配管中殘余的氣體。

［流量開關(guān)］

?檢測配管破裂等造成的過剩流量。

型號確認(rèn)

產(chǎn)品樣本

?全系列的配管連接均可選擇Rc, R或NPT。

?從半導(dǎo)體到一般行業(yè)都可使用的標(biāo)準(zhǔn)型。

?可用于精密洗凈。

?降低執(zhí)行器的高度，實現(xiàn)產(chǎn)品的小型、輕量化（AK3542, 4542）。

?操做通口為M5螺紋（AK3542, 4542）。

?手輪構(gòu)造經(jīng)過改良、實現(xiàn)了產(chǎn)品的小型、輕量化（AK3652, 4652）。

?采用有凹凸的圓形手輪，更便于操作和確認(rèn)（AK3652, 4652）。

型號確認(rèn)

產(chǎn)品樣本

?從半導(dǎo)體到一般行業(yè)均可使用的標(biāo)準(zhǔn)型。

?產(chǎn)品體型小、重量輕。

　質(zhì)量：0.52kg、高：97.5mm。

?內(nèi)部容積小，其體積存量少。

?配管擴展品

　可從壓縮接頭、NPT內(nèi)螺紋、Rc螺紋中選擇。

型號確認(rèn)

產(chǎn)品樣本