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          適用于大型基板上的薄膜制造和 PDMS 的表面處理涂布機(jī)

          來源:深圳市秋山貿(mào)易有限公司   2021年09月30日 10:31  

          適用于大型基板上的薄膜制造和 PDMS 的表面處理涂布機(jī)SC-708系列


          特征

          • 大型基板全鍍膜的離子濺射設(shè)備

          • 濺射靶材可提供相隔 1 英寸的尺寸,例如 4'/5'/6'/7'/8'。

          • 在形成微通道流路以及濺射薄膜制造時支持 PDMS 表面處理

          • 配備鍍膜模式/蝕刻模式



          應(yīng)用/結(jié)果示例

          • 適用于各種設(shè)備的電極膜附件

          • 反光膜制作應(yīng)用

          • 樣品表面親水化處理應(yīng)用(蝕刻方式)

          • PDMS表面處理應(yīng)用(蝕刻模式)等



          基本規(guī)格

          陰極φ4-8英寸/2極對向電極
          濺射電流
          蝕刻電流
          0-50mA(包括電流表)
          濺射電壓
          蝕刻電壓
          0.8 / 1.4kV
          氣體引入機(jī)制針閥
          真空泵直聯(lián)回轉(zhuǎn)泵:100l/min(帶自動漏氣)
          腔室尺寸內(nèi)徑φ240mm x D240mm(SUS制)
          樣品交換方式前門開閉式
          樣本量最大φ4 ~ 8 英寸
          尺寸(寬/深/高)主體:282/450 / 440mm
          RP:460/175 / 265mm
          重量身體:約20kg
          RP:23kg





          特殊規(guī)格示例

          SC-704AT
          SC-704AT
          膜厚可控全自動機(jī)型

          SC-704MC
          SC-704MC
          磁控陰極采用型號
          (無蝕刻/交流濺射功能)



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