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更新時(shí)間:2022-11-30 17:35:40瀏覽次數(shù):236評(píng)價(jià)
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PlasmaPro 100 Estrelas平臺(tái)旨在確保覆蓋MEMS,良好封裝和納米技術(shù)的廣泛應(yīng)用,從光滑側(cè)壁工藝到高刻蝕速率腔刻蝕、高深寬比工藝和錐形通孔刻蝕,不需要更換腔室硬件就可以實(shí)現(xiàn)。
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