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CVD系統(tǒng)管式爐是一種重要的材料制備設備,廣泛應用于大專院校、科研院所、工礦企業(yè)等實驗和小批量生產(chǎn)之中。它主要用于在固態(tài)基材上沉積一層薄膜,其組成部分包括高溫真...
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