目錄:上海首立實(shí)業(yè)有限公司>>HORIBA（過程&環(huán)境）>>過程分析>> MICROPOLE系統(tǒng)殘余氣體分析儀
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更新時(shí)間：2024-03-19 07:11:17瀏覽次數(shù)：5133評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),石油,能源,電子 |
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特征
與傳統(tǒng)的殘余氣體分析儀相比，尺寸較小，這使它容易整合到您的系統(tǒng)之中。
在只占傳統(tǒng)電極一小部分的體積里，微型化的九電極排列提供了良好的靈敏度。
可以在高于0.9Pa（7mTorr, 9 x 10-3mbar）的壓力條件下使用，在許多需要昂貴真空泵的應(yīng)用當(dāng)中，可以簡(jiǎn)化或者省略泵的使用。
此傳感器接頭在出貨之前已經(jīng)進(jìn)行過預(yù)調(diào)諧和校準(zhǔn)。允許客戶自己在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行傳感器的更換。
升級(jí)到八電極后，可以通過一臺(tái)使用RS485接口的電腦進(jìn)行監(jiān)測(cè)。此系統(tǒng)也可以通過以太網(wǎng)進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè)。
微電極掃描軟件允許用戶用各種不同的方式監(jiān)測(cè)氣體的部分壓力，如趨勢(shì)曲線圖，相似性曲線圖，泄露模式，條形統(tǒng)計(jì)圖，3D等
可選擇性的監(jiān)測(cè)控制器可以安裝在反應(yīng)室的光譜發(fā)生器上，使用戶無需電腦可以監(jiān)測(cè)真空反應(yīng)室。
■測(cè)量原理
殘余氣體分析儀是由一個(gè)離子源，一個(gè)質(zhì)量分光儀和一個(gè)監(jiān)測(cè)單元組成。當(dāng)殘余氣體與從高溫金屬絲釋放的熱電子碰撞后，它將被離子化。并且，這些因此產(chǎn)生的離子會(huì)加速會(huì)合到質(zhì)量能譜儀上。在質(zhì)量能譜儀上內(nèi)，直流和交流電壓被應(yīng)用到四個(gè)圓柱形的電極上（方形排列），從而讓離子因質(zhì)量的不同而被分離開。這些被分開的離子通過法拉第杯作為直流電被發(fā)現(xiàn)。這種離子電流是與殘余氣體的質(zhì)量成比例的。
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