TH511 TH512 TH513半導(dǎo)體C-V特性分析儀
簡(jiǎn)介
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀是常州同惠電子根據(jù)當(dāng)前半導(dǎo)體功率器件發(fā)展趨勢(shì)，針對(duì)半導(dǎo)體材料及功率器件設(shè)計(jì)的分析儀器。
儀器采用了一體化集成設(shè)計(jì)，二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導(dǎo)體功率器件寄生電容、CV特性可一鍵測(cè)試，無(wú)需頻繁切換接線及設(shè)置參數(shù)，單管功率器件及模組功率器件均可一鍵快速測(cè)試，適用于生產(chǎn)線快速測(cè)試、自動(dòng)化集成。
CV曲線掃描分析能力亦能滿足實(shí)驗(yàn)室對(duì)半導(dǎo)體材料及功率器件的研發(fā)及分析。
儀器設(shè)計(jì)頻率為1kHz-2MHz，VGS電壓可達(dá)±40V，VDS電壓可達(dá)±200V/±1500V/±3000V，足以滿足大多數(shù)功率器件測(cè)試。
性能特點(diǎn)
• 一體化設(shè)計(jì)：
LCR+VGS低壓源+VDS高壓源+通道切換+上位機(jī)軟件
• 單管器件（點(diǎn)測(cè)）、模組器件（列表掃描）、曲線掃描(選件)
三種測(cè)試方式
• 四寄生參數(shù)(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)
同屏一鍵測(cè)量及顯示
• 標(biāo)配2通道，可擴(kuò)展至6通道，可測(cè)單管、多芯或模組器件
（TH513僅1通道）
• CV曲線掃描、Ciss-Rg曲線掃描
• 電容快速充電技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速測(cè)試
• 接觸檢查Cont
• 通斷測(cè)試OP_SH
• 自動(dòng)延時(shí)設(shè)置
• 柵極電壓VGS：0 - ±40V
• 漏極電壓VDS：0 - ±200V/±1500V/±3000V
• 10檔分選
應(yīng)用
■ 半導(dǎo)體元件/功率元件
二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光
電子芯片等寄生電容測(cè)試、C-V特性分析
■ 半導(dǎo)體材料
晶圓切割、C-V特性分析
■ 液晶材料
彈性常數(shù)分析
■電容元件
電容器C-V特性測(cè)試及分析，電容式傳感器測(cè)試分析
TH511 TH512 TH513半導(dǎo)體C-V特性分析儀技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) | TH511 | TH512 | TH513 |
通道數(shù) | 2（可選配4/6通道） | 1 |
顯示 | 顯示器 | 10.1英寸(對(duì)角線)電容觸摸屏 |
比例 | 16:9 |
分辨率 | 1280×RGB×800 |
測(cè)量參數(shù) | Ciss、Coss、Crss、Rg ，四參數(shù)任意選擇 |
測(cè)試頻率 | 范圍 | 1kHz-2MHz |
精度 | 0.01% |
分辨率 | 10mHz | 1.00000kHz-9.99999kHz |
100mHz | 10.0000kHz-99.9999kHz | |
1Hz | 100.000kHz-999.999kHz |
10Hz | 1.00000MHz-2.00000MHz | |
測(cè)試電平 | 電壓范圍 | 5mVrms-2Vrms |
準(zhǔn)確度 | ±（10%×設(shè)定值+2mV） |
分辨率 | 1mVrms | 5mVrms-1Vrms |
10mVrms | 1Vrms-2Vrms | |
VGS電壓 | 范圍 | 0 - ±40V |
準(zhǔn)確度 | 1%×設(shè)定電壓+8mV |
分辨率 | 1mV | 0V - ±10V |
10mV | ±10V - ±40V | |
VDS電壓 | 范圍 | 0 - ±200V | 0 - ±1500V | 0 - ±3000V |
準(zhǔn)確度 | 1%×設(shè)定電壓+100mV |
輸出阻抗 | 100Ω，±2%@1kHz |
數(shù)學(xué)運(yùn)算 | 與標(biāo)稱(chēng)值的絕對(duì)偏差Δ，與標(biāo)稱(chēng)值的百分比偏差Δ% |
校準(zhǔn)功能 | 開(kāi)路OPEN、短路SHORT、負(fù)載LOAD、夾具校準(zhǔn) |
測(cè)量平均 | 1-255次 |
AD轉(zhuǎn)換時(shí)間（ms/次） | 快速+：2.5ms(＞5kHz) 快速：11ms 中速：90ms 慢速：220ms |
最高準(zhǔn)確度 | 0.5%（具體參考說(shuō)明書(shū)） |
Ciss、Coss、Crss | 0.00001pF - 9.99999F |
Rg | 0.001mΩ - 99.9999MΩ |
Δ% | ±（0.000% - 999.9%） |
多功能參數(shù)列 表掃描 | 點(diǎn)數(shù) | 50點(diǎn)，每個(gè)點(diǎn)可設(shè)置平均數(shù)，每個(gè)點(diǎn)可單獨(dú)分選 |
參數(shù) | 測(cè)試頻率、Vg、Vd、通道 |
觸發(fā)模式 | 順序SEQ：當(dāng)一次觸發(fā)后，在所有掃描點(diǎn)測(cè)量，/EOM/INDEX只輸出一次 |
步進(jìn)STEP：每次觸發(fā)執(zhí)行一個(gè)掃描點(diǎn)測(cè)量，每點(diǎn)均輸出/EOM/INDEX，但列表掃描比較器 結(jié)果只在最后的/EOM才輸出 |
圖形掃描 | 掃描點(diǎn)數(shù) | 任意點(diǎn)可選，最多1001點(diǎn) |
結(jié)果顯示 | 同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線；同一Vg、不同參數(shù)多條曲線 |
顯示范圍 | 實(shí)時(shí)自動(dòng)、鎖定 |
坐標(biāo)標(biāo)尺 | 對(duì)數(shù)、線性 |
掃描參數(shù) | Vg、Vd |
觸發(fā)方式 | 手動(dòng)觸發(fā)一次，從起點(diǎn)到終點(diǎn)一次掃描完成，下個(gè)觸發(fā)信號(hào)啟動(dòng)新一次掃描 |
結(jié)果保存 | 圖形、文件 |
