4200A-SCS 元件參數(shù)分析儀

親眼見證創(chuàng)新！ 4200A-SCS 是一種可以量身定制、全面集成 的參數(shù)分析儀，可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V) 和超快速脈沖式I-V 特性。作為高性能的參數(shù)分析儀， 4200A-SCS 加快了半導(dǎo)體、材料和工藝開發(fā)速度。

4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的軟件提供了清楚的、不折不 扣的測量和分析功能。憑借嵌入式測量專業(yè)知識和數(shù)百項隨時 可以投入使用的應(yīng)用測試，Clarius Software 可以更深入地挖掘 研究過程，快速而又滿懷信心。

4200A-SCS 元件參數(shù)分析儀可以根據(jù)不同用戶需求進(jìn)行靈活配 置，不管是現(xiàn)在還是未來，都可以隨時對系統(tǒng)進(jìn)行升級。通過4200A-SCS 元件參數(shù)測試儀分析儀，通往發(fā)現(xiàn)之路現(xiàn)在變得異常簡便。

主要性能指標(biāo)

I-V 源測量單元(SMU)

• ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊

• 100 fA測量分辨率

• 選配前端放大器提供了 10 aA測量分辨率

• 10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測量

• 100 μF負(fù)載電容

• 四象限操作

• 2 線或 4 線連接

C-V 多頻率電容單元(CVU)

• AC 阻抗測量 (C-V, C-f, C-t)

• 1 kHz - 10 MHz 頻率范圍

• ± 30 V (60 V差分)內(nèi)置DC偏置源，可以擴(kuò)展到± 210 V(420 V 差分)

• 選配 CVIV 多通道開關(guān)，在 I-V 測量和 C-V 測量之間簡便切換脈沖式I-V 超快速脈沖測量單元(PMU)

• 兩個獨立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測量通道

• 200 MSa/s，5 ns 采樣率

• ±40 V (80 V p-p)，±800 mA

• 瞬態(tài)波形捕獲模式

• 任意波形發(fā)生器 Segment ARB® 模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率

高壓脈沖發(fā)生器單元(PGU)

• 兩個高速脈沖電壓源通道

• ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA

• 任意波形發(fā)生器 Segment ARB®模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率I-V/C-V 多通道開關(guān)模塊 (CVIV)

• 在 I-V測量和 C-V 測量之間簡便切換，無需重新布線或抬起探針

• 把 C-V測量移動到任意端子，無需重新布線或抬起探針遠(yuǎn)程前端放大器/ 開關(guān)模塊(RPM)

• 在 I-V 測量、C-V 測量和超快速脈沖 I-V 測量之間自動切換

• 把 4225-PMU的電流靈敏度擴(kuò)展到數(shù)十皮安

• 降低電纜電容效應(yīng)

為材料、半導(dǎo)體器件和工藝開發(fā)提供優(yōu)秀的參數(shù)分析儀

使用強(qiáng)大的Clarius 軟件，可以更加快速的完成I-V, C-V 和脈沖I-V 測試，結(jié)果清晰明了