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產品型號GR180A
品 牌ULVAC/日本愛發(fā)科
廠商性質經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時間：2024-07-02 13:39:33瀏覽次數(shù)：142次
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| 泵軸位置 | 臥式 | 輸送介質 | 油泵 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 多級 | 應用領域 | 化工,能源,電子,電氣,綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 真空干燥
日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 真空干燥
可應用于大氣真空間反復抽氣的高負荷領域，可在高負荷下持續(xù)使用。
適用load lock室（裝載/卸載室），可實現(xiàn)高吞吐量。
感應電機可通用
可以安裝防爆電機等特殊電機（可選）
采用多電壓兼容電機
空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣
各種成膜設備放入取出室的真空排氣
真空干燥，真空氣體置換和真空脫泡等一般產業(yè)
真空氣體置換，如真空熱隔絕和氣體填充
| 型號 | GR60A | GR90A | GR180A | |||||
| 最大排氣速度 | 50Hz | m3/h(L/min) | 62(1030) | 112(1030) | 183(3100) | |||
| 60Hz | m3/h(L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | ||||
| 極限壓力 *1 | Pa | 5.0 | ||||||
| 最大排氣壓力（吸入圧力） | 大氣壓 | |||||||
| 最大排氣口壓力（排出圧力） | Pa | 1.0 ~ 大氣壓 | ||||||
| 吸氣口 | VG50 | VG80 | ||||||
| 排氣口 | NW40 | |||||||
| DRP表面處理 | 〇 | |||||||
| 電機 | 輸出 [kW] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
| 電壓 [V] | 50Hz | 200~240/380~415 | ||||||
| 60Hz | 200~240/380~460 | |||||||
| 質量 | kg | 128 | 188 | 268 | ||||
| 冷卻方式 | 冷卻水 一次供給壓力 | MPa | 0.1~0.3 | |||||
| 冷卻水 出入口壓差 | MPa | >0.1 | ||||||
| 冷卻水溫度 | ℃ | 10~30 *2 | ||||||
| 冷卻水流量 | L/min | >5.0 | ||||||
| 氮氣 | 一次側 供給圧力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||
| 二次側 調整圧力 *3 | MPa | 0.05 to 0.1 (運作時) | ||||||
| 軸 | SLM | 5.0 *4 | ||||||
*1 極限壓力是氮氣（軸封氣體）為5.0 SLM時的值。
*2 不結露。
*3 通過調節(jié)器調節(jié)壓力計值。
*4 氮氣（軸封氣體）的流量固定為5.0SLM。
ULVAC 廠商介紹：
1952 年 ULVAC 成立時，它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風險投資公司，他們希望“通過真空技術為工業(yè)和科學的發(fā)展做出貢獻"。
自成立以來，ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神，并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作，包括液晶平板顯示器、半導體和電子元件，以及汽車、食品和藥品等一般工業(yè)設備，ULVAC接受了利用技術進行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價值的挑戰(zhàn)。
追求真空技術創(chuàng)造新價值
ULVAC集團是一家企業(yè)集團，為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術，包括真空設備、真空設備、材料、分析設備和客戶解決方案。
在 ULVAC 集團內，零部件業(yè)務部門是一組負責開發(fā)、制造和銷售構成真空設備的各種真空設備的公司。真空設備的性能是由這些追求真空技術的真空設備支撐的。
通過與客戶的溝通，共創(chuàng)繁榮的未來
ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業(yè)務領域和不斷發(fā)展的技術。
盡管ULVAC現(xiàn)在的組織比成立時規(guī)模更大，但其冒險精神始終沒有改變。
ULVAC將繼續(xù)利用集團的集體力量和創(chuàng)新精神，以速度感響應各領域的需求，為工業(yè)和科學的發(fā)展做出貢獻。
零部件事業(yè)部
ULVAC株式會社 零部件事業(yè)部
愛發(fā)科機工株式會社
愛發(fā)科低溫有限公司
愛發(fā)科（寧波）有限公司
韓國愛發(fā)科低溫公司
愛發(fā)科低溫技術（寧波）有限公司
愛發(fā)科銷售有限公司
愛發(fā)科科技有限公司
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