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日本ULVAC愛發(fā)科 干式真空泵 多級羅茨型通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

日本ULVAC愛發(fā)科 干式真空泵 均熱化通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

日本ULVAC愛發(fā)科 干式真空泵 氦氣密封型通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 耐腐蝕通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

日本ULVAC愛發(fā)科 兩級旋轉(zhuǎn)葉片式真空泵PVD系列是緊湊的兩級旋轉(zhuǎn)葉片式皮帶驅(qū)動油旋轉(zhuǎn)真空泵。這是一種小型的皮帶驅(qū)動式油旋轉(zhuǎn)真空泵，已被許多客戶使用，具有多年...

日本ULVAC愛發(fā)科 油回轉(zhuǎn)真空泵PVD系列是緊湊的兩級旋轉(zhuǎn)葉片式皮帶驅(qū)動油旋轉(zhuǎn)真空泵。這是一種小型的皮帶驅(qū)動式油旋轉(zhuǎn)真空泵，已被許多客戶使用，具有多年的可靠性...

日本ULVAC愛發(fā)科真空泵 雙繞式渦旋泵通過固定渦旋壁(固定渦輪)與對面渦旋壁(從動渦輪)的偏心運動,進(jìn)行排氣的真空泵。

日本ULVAC愛發(fā)科真空泵 高耐腐型 通過橡膠薄膜(膜片)的往復(fù)運動而排氣的真空泵。 結(jié)構(gòu)簡單,易于操作。 DTC系列是高耐腐型。

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