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產(chǎn)品介紹

TLPH系列精密型光電測(cè)試探針臺(tái)是基于TLRH系列升級(jí)激光顯微鏡而來(lái)，實(shí)現(xiàn)高分辨率成像的同時(shí)兼顧外引激光光路，實(shí)現(xiàn)光電流與IV的雙功能檢測(cè)，是光電芯片/器件測(cè)試的理想之選。

技術(shù)優(yōu)勢(shì)

.模塊化設(shè)計(jì)，可以搭配不同構(gòu)件完成不同測(cè)試；

. 最大可用于12寸以內(nèi)樣品測(cè)試;

.探針臺(tái)整體位移精度高達(dá)3um，樣品臺(tái)精密四維調(diào)節(jié)；

. 激光顯微鏡，5檔物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)，可引入激光完成光電流測(cè)試；

. 滿足1um以上電極/PAD使用;

. 漏電精度可達(dá)10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）;

. 探針座采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌，線性移動(dòng)，無(wú)回程差設(shè)計(jì);

. 加寬探針?lè)胖眉?，可放?個(gè)DC探針座/4個(gè)RF探針座；

. 配顯微鏡三維精密調(diào)節(jié)功能，且可選配多種行程及驅(qū)動(dòng)方式。

模塊介紹

通用參數(shù)

常規(guī)選型

相關(guān)配件

多種精度，多種夾具類(lèi)型探針座

同軸線纜，三同軸線纜

各種類(lèi)型探針

真空泵

電學(xué)測(cè)試夾具

電磁屏蔽箱

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體材料光電檢測(cè)、功率器件測(cè)試、MEMS測(cè)試、PCB測(cè)試、液晶面板測(cè)試、測(cè)量表面電阻率測(cè)試、精密儀器生產(chǎn)檢測(cè)、航空航天實(shí)驗(yàn)等。

譜量光電可根據(jù)客戶實(shí)際應(yīng)用需求，定制配套精密型光電測(cè)試探針臺(tái)，以達(dá)更好的測(cè)試效果及更高的性價(jià)比，具體信息可聯(lián)系詳詢。