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        1. 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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          區(qū)熔晶體生長系統(tǒng)

          參  考  價:面議
          具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

          產(chǎn)品型號FZ-14

          品牌PVA TePla

          廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

          所在地美國

          更新時間:2024-09-05 17:03:59瀏覽次數(shù):181次

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          FZ-14 區(qū)熔晶體生長系統(tǒng)是專為工業(yè)生產(chǎn)直徑達(dá)100毫米(4英寸)的單晶硅晶體而設(shè)計。根據(jù)源棒的尺寸,可以拉出長度達(dá)1. 1米的晶體。在這個過程中,晶體的直徑和液體區(qū)的高度可以通過攝像系統(tǒng)來監(jiān)測。并且該系統(tǒng)的上部主軸和線圈都是自動定位的。該系統(tǒng)采用無接觸熔化工藝,通過使用渦輪分子泵和超純氬氣作為工藝氣體,產(chǎn)生高極限真空環(huán)境,有效地防止了工藝過程中的污染,同時還能將氮氣以受控的方式引入工藝爐體。

          產(chǎn)品數(shù)據(jù)概覽:

          材料:硅

          晶體

          晶體 1,100 mm

          晶體拉動長度: 長達(dá)100 mm (4″)

          晶體直徑: 2.5 x 10-5 mbar

          極限真空度: 0.5 bar(g)

          發(fā)電機(jī)

          輸出電壓: 30 kW

          頻率: 2.4 MHz

          上軸

          進(jìn)料速度: 最高30 mm/min

          上部旋轉(zhuǎn): 最高35 rpm

          下軸

          拉動速度: 最高 30 mm/min

          下部旋轉(zhuǎn): 最高 30 rpm

          尺寸規(guī)格

          高度 6,280 mm

          寬度: 2,750 mm

          深度: 3,000 mm

          重量(總): 4,900 kg

          區(qū)熔(FZ)技術(shù)作為提純方法為生產(chǎn)高電阻率的超純硅單晶提供了技術(shù)可行性,該技術(shù)可應(yīng)用于高性能電子和半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。其另一優(yōu)點是可以從氣相中連續(xù)摻入,這使得在整個晶體的電阻率沿長度方向保持一致。因此,幾乎可以在整個晶體上均勻地實現(xiàn)所需的電性能。由于電荷載流子的高壽命和極低的氧含量(無坩堝工藝),FZ晶體同樣也適用于光伏行業(yè)。

          區(qū)熔(FZ)技術(shù)作為提純方法與CZ直拉工藝等競爭方法相比,FZ工藝的優(yōu)勢在于只有緊鄰感應(yīng)線圈的一小部分晶體需要被熔化,無需使用石英坩堝(每爐次耗用一個),可實現(xiàn)高拉速,因此降低了耗材成本的同時也降低了能源成本。此外,無論是從硅還是其他合適的材料中提取的晶體,可以通過多次處理,顯著地提高純度。


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