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        1. 深圳市矢量科學儀器有限公司

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          臥式 LPCVD 氣相沉積系統(tǒng)

          參  考  價:面議
          具體成交價以合同協(xié)議為準

          產(chǎn)品型號HORIC L200 系列

          品牌北方華創(chuàng)

          廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

          所在地北京市

          更新時間:2024-09-05 17:43:28瀏覽次數(shù):309次

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          HORIC L200 系列 臥式 LPCVD 氣相沉積系統(tǒng),半導體客戶端機臺裝機量大,可根據(jù)客戶需求配置多工藝組合的機臺.可提供先進成熟的 MES 系統(tǒng)解決方案.優(yōu)異的工藝技術(shù)支持。

          1. 產(chǎn)品概述

          HORIC L200 系列 臥式 LPCVD  氣相沉積系統(tǒng),半導體客戶端機臺裝機量大,可根據(jù)客戶需求配置多工藝組合的機臺。可提供先進成熟的 MES 系統(tǒng)解決方案.優(yōu)異的工藝技術(shù)支持。

          2. 設(shè)備用途/原理

          HORIC L200 系列 臥式 LPCVD 系統(tǒng),半導體客戶端機臺裝機量大可根據(jù)客戶需求配置多工藝組合的機臺高可靠性、穩(wěn)定性 Higher reliability and stability。安全性能高:設(shè)備及所使用的元件符合國標和國際標準。可提供先進成熟的 MES 系統(tǒng)解決方案。優(yōu)異的工藝技術(shù)支持

          3. 設(shè)備特點

          晶圓尺寸 4、6、8 英寸適用材料硅、碳化硅、硅基氮化鎵。適用工藝  氮化硅、氧化硅、多晶硅、摻雜多晶硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃適用域  科研、化合物半導體。


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